Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Hochgeschwindigkeitsmuster von flachen und großdimensionalen Substraten bereitzustellen. Es wird am häufigsten in der Halbleiterindustrie für die Geräteherstellung verwendet. Der Ätzer/Ascher nutzt induktiv gekoppelte HF-Energie und direkt schreibendes Elektronenstrahlätzen, um hohe Durchsatzraten bei der Abscheidung und Strukturierung eines Arrays von Materialien zu erreichen. Das Gerät ist außerdem mit einer Mikrowellenquelle und zwei Plasmaquellen zur Durchführung von Dünnoxidätzen ausgestattet. Darüber hinaus ist dieses System in der Lage, Aluminium bis zu 2,5 μ m dick und Aluminiumoxid bis zu 5 μ m dick zu verarbeiten. Die Integration von Work-in-Progress und Reel-to-Reel bietet einen hohen Durchsatz und eine hohe Energieeffizienz, während der Inspektionsmonitor verwendet werden kann, um vollständig bedruckte Wafer kontinuierlich zu überprüfen, ohne dass Maske und optische Bildgebung erforderlich sind. Darüber hinaus verfügt der Exelan Flex über ein flexibles Reaktordesign, das einen einfachen Zugang zu jeder Prozesskammer und eine einziehbare Oberlademaschine für eine robuste und effiziente Verarbeitung ermöglicht. Der Exelan Flex wird von einer bedienerfreundlichen PC-basierten Software gesteuert, die dem Anwender eine Reihe von Tools zur Konfiguration jedes Prozessschritts per Knopfdruck bietet. Neben regelmäßigen Anweisungen und Programmabläufen ermöglicht das Tool die manuelle Steuerung und Einrichtung der Prozessparameter und bietet eine Echtzeitüberwachung des Prozessstatus jeder Kammer. Es bietet auch zahlreiche Selbstdiagnosefunktionen, die die Leistung des Geräts kontinuierlich überwachen. Der Exelan Flex ist auch mit vielen gängigen CAD-Formaten kompatibel und verfügt über einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, ihn einfach in bestehende Produktionslinien zu integrieren und den gesamten Prozess zu automatisieren. Es ist ein zuverlässiger und benutzerfreundlicher Ätzer/Ascher, der sich gut für die Strukturierung einer Vielzahl von Substraten eignet, darunter Silizium, Glas, Kunststoff und Metalllegierungen. Insgesamt ist ONTRAK 2300 Exelan Flex ein fortschrittlicher, kostengünstiger Ätzer/Ascher, der es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterindustrie macht, die eine schnelle Strukturierung und Abscheidung benötigt.
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