Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #293752350 zu verkaufen

ID: 293752350
Weinlese: 2007
Poly etcher 2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die speziell zur Unterstützung kritischer Lithographieanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine umfassende Suite von anspruchsvollen Ätz-/Aschewerkzeugen, um einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Prozesskontrolle zu gewährleisten. Dieses System umfasst den zuverlässigen DC mit hoher Leistung sowie präzise RF- und Mikrowellenfunktionen. Das Kiyo45 bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Massenätzansätzen. Darüber hinaus hat es die Flexibilität, ein breites Spektrum von Prozessen von Tiefätzen bis hin zum chemischen Aschen durchzuführen. Der leistungsstarke Kiyo45 Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um ein breites Anwendungsspektrum mit hoher Genauigkeit und Präzision zu liefern. Es kann eine Vielzahl von Materialien wie Polyimide, Resistpolymere, Metalle und Polysiliziumschichten effektiv ätzen und aschen. Die Funktionen HF und Mikrowelle ermöglichen eine überlegene Tiefen- und Grabenprofilsteuerung im Vergleich zu DC-geätzten Systemen. Darüber hinaus bietet das Gerät eine hervorragende Gleichmäßigkeit und einen hohen Durchsatz bei geringem SiN-Verbrauch. Darüber hinaus sorgt eine ausgeklügelte Gasfördermaschine mit Massendurchflussreglern dafür, dass die genaue Prozesschemie während jedes Zyklus geliefert wird und somit überlegene Ätz-/Ascheergebnisse gewährleistet werden. Das Kiyo45 ist mit einer vollautomatischen Prozesssteuerung ausgestattet, die eine vollständige Rückverfolgbarkeit und eine sichere Prozessdatenbank ermöglicht. Dadurch wird eine vollständige Prozessreproduzierbarkeit gewährleistet und ein starker Prozessfluss aufrechterhalten. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter einfach zu verwalten. Es verfügt auch über eine Multi-Station-Konfiguration, die Flexibilität und Skalierbarkeit ermöglicht. Die leistungsstarke Automatisierung sorgt für eine schnelle Gerätebearbeitung und schnelle Wafer-Wendezeiten. Der Kiyo45 Ätzer/Ascher wird auf dem neuesten Stand der Technik gebaut und mit Komponenten höchster Qualität gefertigt. Es ist mit einem ausgeklügelten Sicherheitswerkzeug ausgestattet, um Überdruck oder Übergasereignisse zu vermeiden. Das Kiyo45 bietet eine zuverlässige und kostengünstige Lösung, um die höchsten Anforderungen an digitale Lithographie zu erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor