Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9241856 zu verkaufen

LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45
ID: 9241856
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2018
Metal etchers, 12" Process: ETC 2018 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist ein Ascher/Ätzer, der entwickelt wurde, um den höchsten Produktertrag und die niedrigsten Betriebskosten zu erzielen. Es ist in der Lage, bis zu fünf verschiedene Wafergrößen in einer Charge zu verarbeiten und hat eine Verarbeitungsgeschwindigkeit von bis zu 100.000 Wafern pro Stunde. Dieses System bietet eine hervorragende Strahl- und Strahlgleichförmigkeit durch die Verwendung einer neuen und verbesserten Mini-Lüfterstrahl-Verteilungsquelle. Das System arbeitet mit Hochgeschwindigkeitsätzen mit einem wählbaren Bereich von 30 bis 150 µm. ONTRAK 2300 Kiyo45 bietet eine Vielzahl von Design- und Verarbeitungsmöglichkeiten, um eine präzise Verarbeitung für jede Anwendung zu gewährleisten. Es verfügt über erweiterte Wafer-Handhabungsfunktionen, einschließlich eines Einpositions-Wafer-Handlers sowie Sub-Angle Programmable Etch (SPE), der automatisch die Winkelung des Strahls anpasst, um die Ätzgleichmäßigkeit zu erhalten und die Belastung durch Verunreinigungen zu beseitigen. Es hat auch Substrat und Wafer Temperaturüberwachung mit einem Temperaturbereich von -30 Grad bis + 150 Grad Celsius und Wafer Neigung Einstellwinkel von + 7,5 und -10,0 Grad. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 ist mit Autofill Dispense and Alignment, LF Carrier und Recipe Management hochautomatisiert. Es ist auch in der Lage, High-End-Defekt-Inspektion Fähigkeiten, die die Erkennung von Oberflächenverunreinigungen und Post-Ätzfehler ermöglichen. Es verfügt auch über leistungsstarke 3D-Wafer-Mapping-Funktionen und kann für verbesserte Prozesserträge verwendet werden. 2300 Kiyo45 ist eine vielseitige, leistungsstarke Ascher/Ätzer-Lösung, die sich problemlos in bestehende und zukünftige Produktionsumgebungen integrieren lässt. Es ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen konzipiert und bietet eine bedienerfreundliche Benutzeroberfläche für einfache Einrichtung und Bedienung. Mit seinen fortschrittlichen Strahl- und Ätztechnologien bietet es konsistente Ergebnisse und optimierte Erträge.
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