Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9245885 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist ein Ascher/Ätzer, der für subtraktive Prozesse verwendet wird, um miniaturisierte Merkmale auf Substraten zu erzeugen. Es ist mit einer Zweikammer-Konstruktion ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, gleichzeitig verschiedene Schichten zu ätzen, ohne den Prozess stoppen und die Kammer mit einem neuen Substrat nachladen zu müssen. Das Kiyo45 verfügt über eine 21-Zoll-hochauflösende X-Y-Stufe, die doppelte Geschwindigkeit des Vorgängers und eine motorisierte Stufe, die eine schnelle und präzise Wiederholbarkeit für die Prozessoptimierung bietet. Das Kiyo45 ist ein subtraktiver Prozeßätzer und ist mit zwei Reaktoren ausgelegt - obere und untere. Die obere Kammer ist mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) ausgestattet, die aus einer HF-Stromversorgung und einer Source-Kammer besteht. Die ICP-Quelle liefert ein hochdichtes HF-Plasma, das sich ideal zum Ätzen von Metallen und anderen harten Materialien eignet. Die untere Kammer ist mit einer Hochleistungs-Niederdruck-Plasmaquelle (DPP) ausgestattet. Die DPP-Quelle dient zum Ätzen unterschiedlichster Materialien, von Keramik bis zu Folien und Harzen. Das Kiyo45 wird auch mit einem Spin-to-Clamp (STC) Spannfutter geliefert, um einen gleichmäßigen Waferkontakt zu gewährleisten und Schäden während der Verarbeitung zu verhindern. Zusätzlich ist das Kiyo45 mit einer stiktionsfreien, 1000-stufigen, X-Y-motorisierten Stufe ausgestattet, um die Prozessgeschwindigkeit und -genauigkeit zu maximieren. Darüber hinaus ist die X-Y-Stufe schnell ansprechbar und wiederholbar für die schnelle und präzise Prozessoptimierung. Das Kiyo45 wird mit einem leistungsstarken Multi-View Viewing System angeboten, mit dem der Benutzer den Prozess durch Echtzeit-Datenansicht steuern und überwachen kann. Das zugehörige CONTROL ESC-Softwarepaket gibt dem Anwender die Kontrolle über verschiedene Ätzparameter wie HF-Leistung, Druck, Gasflussraten und Zeitabläufe. Der Kiyo45 Ätzer/Ascher ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug zur Herstellung von Mikrostrukturen auf verschiedensten Substraten. Es ist für einen kostengünstigen Betrieb konzipiert und dient als ideale Lösung zum Ätzen von Dünnschichtschichten, einer Vielzahl von Substraten und fortschrittlicher Prozessentwicklung und -forschung.