Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255637 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist eine Ätz-/Aschemaschine, die zum Präzisionsätzen und Aschen von integrierten Schaltungen verwendet wird. Es ist ein äußerst zuverlässiges, fortschrittliches System, das sowohl für die Prozessentwicklung als auch für automatisierte Produktionsanwendungen konzipiert ist. Es ist in der Lage, eine hohe Gleichmäßigkeit bei sehr niedrigen Leerstellen zu erreichen. Die Einheit besteht aus einer Vakuumkammer mit zwei Elektroden, einer Heizung, einer Steuereinheit und einer Gaseinspritzmaschine. Das Gaseinspritzwerkzeug sorgt für eine hohe Ätzrate und die Kammer ist mit speziellen Plasmareinigungssystemen ausgestattet, die einen sauberen Ätzprozess gewährleisten. Die Kammer kann Wafer bis zu 8 Zoll aufnehmen, und die Heizung kann von -20 ° bis 400 + ° C reichen. Die Steuereinheit ist in der Lage, alle Parameter des Ätzprozesses wie Temperatur, Druck, Gasfluss, Ätzzeit und mehr zu steuern. Die Anlage ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumnitrid, Polysilizium und mehr zu ätzen. Es kann auch zum Ätzen von Durchsilizium-Vias oder TSVs verwendet werden, um dreidimensionale integrierte Schaltungen zu bilden. Das Kiyo45 verfügt über eine 45-nm-Ätztiefe und eine 1-200-nm-Ätzauflösung. Es hat auch eine Vakuum-Bewertung von 10-7 Torr zu einem Torr. Das Modell ist in der Lage, eine sehr gleichmäßige Ätzung über den gesamten Wafer und hat einen stark wiederholbaren Prozess. Die optionale Prozessüberwachungseinrichtung ermöglicht eine Echtzeit-Rückmeldung des Ätzprozesses. Es kommt auch mit mehreren Sicherheitsfunktionen, wie mehrere Interlock-Bereiche und spezialisierte Waschsysteme, die entwickelt wurden, um den Benutzer vor Gefahren zu schützen. Das Kiyo45 System ist auch eine umweltfreundliche Einheit, da es allen geltenden Umweltvorschriften entspricht. Es erfordert keine gefährlichen chemischen Gase, und alle gefährlichen Partikel, die beim Ätzen entstehen, werden schnell weggewaschen. Insgesamt ist ONTRAK 2300 Kiyo45 eine zuverlässige und vielseitig einsetzbare Ätz-/Aschermaschine, die sich ideal zum präzisen Ätzen von integrierten Schaltungen und anderen photolithographischen Prozessen eignet. Es eignet sich sowohl für die Prozessentwicklung als auch für automatisierte Produktionsabläufe und ist umweltfreundlich.