Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9312590
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Etcher, 12"
(3) Poly
FI Type:
Signal tower: 3-Color
(3) Loadports
ATM Robot
(13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station
Aligner
TM Configuration:
Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber
BROOKS Magatran 7 Robot
(4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223
HPS 970 TM Pressure gauge
MKS 640 Control
Loadlock pressure gauge: Hasting
Process module for PM1 / PM2 / PM3:
MKS Pressure gauge, 0.1Torr
VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve
EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias
Gas panel:
Type: IGS
16-Channels
MFC Type: SEC-Z313M
Gas / Range
CF4 / 50 SCCM
CH2F2 / 50 SCCM
H2 / 100 SCCM
SF6 / 10 SCCM
Ar / 500 SCCM
N2 / 100 SCCM
CHF6 / 200 SCCM
C2F6 / 200 SCCM
CF4 / 200 SCCM
SF6 / 200 SCCM
He / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
Cl2 / 200 SCCM
HBr / 50 SCCM
HBr / 500 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist ein Ätz-/Ascherwerkzeug zur Herstellung von hochpräzisen Mikrostrukturen mit Untermikron-Funktionsgrößen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, bis zu 5 mils (127,0 μ m) Material in einem Durchgang zu ätzen/zu veraschen und Substrate mit Abmessungen bis zu 12 "(305,8 mm) zu bearbeiten. Es verfügt über zwei unabhängige Gaswege, die das Ätzen von Metall- und Nichtmetallfolien sowie Legierungen ermöglichen. Das Werkzeug hat auch eine beeindruckende Genauigkeit von ± 0,005 mm (0,0002 „) und Wiederholbarkeit von ± 0,001 mm (0,00004“), so dass Benutzer qualitativ hochwertige Komponenten schnell und effizient produzieren können. Die Ätz-/Aschereinheit ist mit einer Dual-Source-Plasmaquelle ausgestattet, die ein breites Spektrum an Ätzprofilen und einheitlichen Ätzraten bereitstellt. Es hat auch einen 15 W CO2-Laser, der eine Lasermarke auf Teile aufbringen kann und eine hochauflösende Kamera zur Überwachung des Laserstrahls aufweist. ONTRAK 2300 Kiyo45 verwendet ein modernes Hochfrequenz-Netzteil (RF) mit einer Hochfrequenz-Option (HF), was eine höhere Reproduzierbarkeit und einen verbesserten Produktionsdurchsatz ermöglicht. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 ist mit benutzerfreundlichen Funktionen wie einer Farbtouch-Oberfläche, automatischer Substraterkennung, Prozessoptimierungsparametern und einer Vielzahl von Prozesseinstellungen ausgestattet. Es verfügt außerdem über ein schnelles und genaues Sichtsystem zur präzisen ID-Erkennung und visionsunterstützten Substratausrichtung. Das Tool wurde entwickelt, um partikelbezogene Unvollkommenheiten zu reduzieren und den Durchsatz zu maximieren, und kann angepasst werden, um die spezifischen Ätz- und Veraschungsanforderungen der Kunden zu erfüllen. 2300 Kiyo45 ist ideal für die Herstellung ultrafeiner Strukturen mit hohem Seitenverhältnis, geringer Funktionsgröße und minimalem Nachätzrückstand und eignet sich somit perfekt für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen wie Flachbildschirme, Luft- und Raumfahrtkomponenten und Medizinproduktekomponenten. Durch die Kombination aus präziser Ätzsteuerung, hervorragender Genauigkeit und Vielseitigkeit ist LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 eine ideale Wahl für alle, die ein zuverlässiges und präzises Ätz-/Ascherwerkzeug suchen.
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