Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9399261 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9399261
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Poly etcher, 12"
Signal tower
(3) Loadport
ATM Robot
(13) Buffer station
Aligner
Loadlock: 2LL / (4) Slot cool chamber
Robot: Brooks megatran 7
Rocker: 853-007859-9223 / MKS 640
LL Pressure gauge: Hasting
Power supply: 208VAC, 3 Phase / 4 Wires, 500 AMPs, 50/60Hz.
2009 vintage.
LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 ist eine hohe Geschwindigkeit, hohes Wirksamkeitsplasma, das / ashing Ausrüstung für die Produktion von Halbleiteroblaten ätzt. Es ist in der Lage, auch die komplexesten Strukturen, einschließlich dichter und direkt strukturierter Transistoren, sauber und genau zu verarbeiten. Das Kiyo45 verfügt über fortschrittliche Komponenten wie zwei rotierende Quellen, einen hohen Durchsatz von bis zu 200 Wafern pro Stunde, eine Mehrlauf-Temperaturregelung, eine verbesserte Vorausrichtungsgenauigkeit des Wafers und eine einfache, vollautomatische Systemintegration in bestehende Produktionslinien. Das Kiyo45 verwendet ein Dual-Source-Plasma-Ätz-/Ascheverfahren, um Halbleiterscheiben mit fortschrittlichen Eigenschaften und Genauigkeiten herzustellen. Dieser Prozess beginnt mit dem Laden eines Kerzenstangenstapels von bis zu 200 Wafern in die Kiyo45. Die doppelt rotierenden Quellen der Einheit erzeugen dann ein Hochenergieplasma, das präzise auf Reproduzierbarkeit und Genauigkeit gesteuert wird. Dieses Plasma wird durch eingebettete elektrostatische Abschirmungen durch die Wafer geführt, wobei das gewünschte Material entfernt wird. Darüber hinaus kann die Kiyo45-Temperiermaschine zur präzisen Anpassung der Ätzrate und Selektivität eingesetzt werden, sodass Anwender ihren Prozess für optimale Ergebnisse feinjustieren können. Darüber hinaus wurde das Kiyo45 entwickelt, um die Genauigkeit der Vorausrichtung zu verbessern. Die eingebaute Bilderkennungstechnologie wird von der Kiyo45 verwendet, um einzelne Wafer vor dem Ätzen genau zu identifizieren und auszurichten. Dieses erweiterte Tool beseitigt die Notwendigkeit einer manuellen Ausrichtung und reduziert so mögliche Fehler bei der Fehlausrichtung. Das Kiyo45 bietet auch schnelle Inspektionen der Integrität nach dem Ätzen, um die Qualität aller bearbeiteten Wafer zu gewährleisten. ONTRAK 2300 Kiyo45 ist die ideale Wahl für fortgeschrittene Ätz-/Ascheprozesse. Mit hochmodernen Komponenten und fortschrittlichen Funktionen kann es einfach und effizient hochgenaue Halbleiterscheiben herstellen. Die doppelten Drehquellen und das Temperaturregelungsmodell des Asset ermöglichen es Benutzern, den Ätzprozess präzise zu steuern und unübertroffene Ergebnisse zu liefern. Auch die automatisierte Wafer-Vorjustierung und die Nachätzprüfung gewährleisten die Qualitätssicherung aller Off-the-Line-Produkte. Abschließend ist die Kiyo45 die perfekte Wahl für jeden Ätz-/Ascheprozess.
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