Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9407033 zu verkaufen

ID: 9407033
Weinlese: 2011
Poly etcher 2011 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 ist eine hocheffiziente und zuverlässige Ätz-/Aschemaschine. Es ist eine Mehrkammer-Plattform, die eine Vielzahl von Prozessen auf einem einzigen Wafer bewältigen kann, und ist entworfen, um die hohen Anforderungen der Produktion und Entwicklung von kommerziellen und militärischen Anwendungen zu erfüllen. Das Kiyo45 System verfügt über mehrere vielseitige Kammern, mit einem umfassenden Satz von Funktionen und Funktionen. Es verfügt über eine einzige perkussive Vakuumpumpe und eine Hochdruckplasmaquelle, die die Durchführung von Ätz-, Asche- und dielektrischen Beschichtungsprozessen auf verschiedenen Materialoberflächen ermöglicht. Diese Kombination von Funktionen machen es perfekt für eine breite Palette von Spezialanwendungen, wie Hartmaskenätzen, Luftspaltabscheidung, kleine Loch oder tiefe Merkmalsbildung, und Sensing-Anwendungen. Das Gerät verfügt über eine umfangreiche Reihe von Prozesskammern, die eine Vorkammer, eine Hauptverarbeitungskammer, eine Nachätz-/Aschekammer, eine Nachätz-/Asche-/Dielektrikumkammer und eine eigene PDMS-Trockenkammer umfassen. Die Maschine bietet ein erweitertes Maß an Flexibilität und ermöglicht eine breite Palette von Prozessparametern, einschließlich einzigartiger Rezepte, die in der Rezeptbibliothek erstellt und gespeichert werden können. Die Wechseldruck-Hauptverarbeitungskammer kann bis zu 1000 mT erreichen, um verschiedenste Substrattypen und Ätzrezepte aufzunehmen. Das Kiyo45 Tool ist mit einer integrierten Prozesskontrolle und Benutzerrechten-Asset konzipiert, die den Betreibern die Möglichkeit bietet, die dielektrischen Ätz-, Asche- und Ablagerungsrezepte an ihre spezifischen technischen Anforderungen anzupassen. Dies wird weiter durch ein eingebautes Leistungsüberwachungsmodell unterstützt, das es Anwendern ermöglicht, die Leistungsabgabe des Geräts zu überwachen und entsprechend anzupassen, um einen sicheren Prozess und optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das System mit Datenerfassungs- und Analysesoftware ausgestattet, mit der Anwender Prozessparameter und Parameter, die mit diesen Prozessen verbunden sind, wie Substrattemperatur, Filmdicke und Ätzrate verfolgen und analysieren können. ONTRAK 2300 Kiyo45 ist eine fortschrittliche und effiziente Ätz-/Aschereinheit, die sich perfekt für eine Vielzahl von Produktions- und Entwicklungsanwendungen eignet. Design mit einem umfassenden Satz von Funktionen und Funktionen, ist diese Maschine in der Lage, eine breite Palette von Prozessparametern mit Präzision zu vervollständigen. Mit seinem fortschrittlichen Tool zur Prozesskontrolle und Benutzerzugriff sowie Datenprotokollierung und Analysesoftware ist dieses Asset eine ideale Wahl für jeden Bedarf an Ätz- und Aschemodellen.
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