Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589469 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein Trockenätzer oder Ascher, der einen effizienten und gleichmäßigen Plasmaätz- oder Ascheabscheidungsprozess bietet. Diese Hochdurchsatz-Verarbeitungseinheit ist eine zuverlässige Lösung für Plasmaätz-, Ascheabscheidungs- und Durchgangswaferuniformitätsprozesse in der Halbleiter-, MEM- und Elektronikindustrie. ONTRAK Kiyo 45 verfügt über eine Zweizonen-Prozesskammer mit einer großen Hauptverarbeitungskammer und einer kleineren zweiten Kammer, die für die Vorreinigung und Nachreinigung verwendet wird. Die Hauptkammer weist eine flache Ätzzielstufe auf, die bis zu 20 Substrate tragen kann. Die Zielstufe verfügt außerdem über eine Substrat-Wafer-Kartierungsfunktion, um eine gleichmäßige Abscheidung über den gesamten Wafer zu gewährleisten. Zur präzisen Steuerung von Ätz- oder Abscheiderate und Gleichmäßigkeit umfasst das Gerät auch eine Quarzauskleidung und ein In-situ-Plasma-Reinigungssystem. LAM RESEARCH Kiyo 45 kann entweder im vakuumfreien oder im Hochvakuumverfahren betrieben werden. Es können eine breite Palette von Gas- und Gasmischkombinationen verwendet werden, die eine Verarbeitung von Materialien aus GaAs, SiGe, AlN und diamantartigem Kohlenstoff ermöglichen. Das System umfasst auch einen automatisierten HF/DC-Stromgenerator, der eine präzise Steuerung der Ätz- oder Abscheiderate ermöglicht. Im Hinblick auf die Sicherheit verfügt Kiyo 45 über eine automatisierte Abschaltfunktion im Notfall, während der eingebaute Vakuummonitor und der ionensensitive Detektor einen handfesten Ansatz für den Ätzprozess bieten. Darüber hinaus sorgen eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie Gasleckageüberwachungen, funkelfreie Spülventile und ein Hochfrequenz-Lecksucher für die Gesamtsicherheit der Vorrichtung. Zum Abschluss ist LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ein schlüsselfertiger Ätzer/Ascher, der einen effizienten, zuverlässigen und einheitlichen Plasmaätz- oder Ascheabscheidungsprozess für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Seine Sicherheits- und Durchsatzfunktionen sowie seine Benutzerfreundlichkeit und Integration in eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsvorgängen machen ONTRAK Kiyo 45 zu einer großartigen Wahl für diejenigen, die einen zuverlässigen Hochdurchsatz-Ätz- oder Abscheidungsprozess suchen.