Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589472 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für die High-End-Verarbeitung von Materialien wie Silizium, Nitrid, Quarz, Glas und ähnlichen Materialien entwickelt wurde. Die voll ausgestattete Prozesskammer ist mit einer rechteckigen Quarzplatte und einem größeren Drehtisch ausgelegt, um eine benutzergesteuerte Positionierung der Wafer zu ermöglichen. Diese Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Materialgrößen bis zu 18 Zoll zu ätzen und zu aschen. Es ist mit einer umfassenden Palette von Prozessfähigkeiten einschließlich einer Prozesskammer, Wafertransport und Roboterautomatisierungssysteme konstruiert. ONTRAK Kiyo 45 ist ein voll kompatibles Prozesswerkzeug, das mit einem TCP-Lastschloss und erweiterten Plasmaätzverarbeitungsfunktionen ausgestattet ist. Es ist auch mit einer unabhängigen Steuereinrichtung ausgestattet, die eine Anpassung der Systemparameter an die spezifischen Anwendungsbedürfnisse ermöglicht. Diese Maschine verwendet ein keramisches Brennelement, um eine präzise Temperaturregelung für die Waferbearbeitung zu gewährleisten. Es unterstützt mehrere Ätz- und Ascheprozesse, was eine erhöhte Produktionsleistung und Qualitätskontrolle ermöglicht. LAM RESEARCH Kiyo 45 bietet eine automatisierte Wafer-Handhabungseinheit, die aus Waferbeladen, Transport und Entladen sowie automatisierter Plasmaquellensteuerung besteht. Die Plasmaquelle dieser Maschine kann eine breite Palette von Ätz- und Ascheparametern verarbeiten, sodass Benutzer ihre Prozesse einfach an ihre spezifischen Anwendungsanforderungen anpassen können. Es bietet auch eine fortschrittliche Maschine zur Überwachung von Prozessparametern, um effiziente, sichere und wiederholbare Prozesse zu gewährleisten. Kiyo 45 enthält eine optionale Spülkammer, um die Kreuzkontamination von Prozessgasen und Partikeln in der Luft zu verhindern. Das Werkzeug ist auch mit einer leistungsstarken Abgasanlage zum Sammeln von Nebenprodukten ausgestattet. Das Modell kann für den manuellen oder automatischen Betrieb konfiguriert werden, sodass Benutzer die beste Verarbeitungsmethode für ihr spezifisches Programm auswählen können. Der integrierte Hochfrequenzgenerator und das Nachbearbeitungssystem ermöglichen auch eine kontrollierte Ablation des geätzten Materials. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für ein breites Anwendungsspektrum. Die fortschrittliche Prozesskammer, das automatisierte Wafer-Handling und die leistungsstarke Abgasanlage bieten eine benutzerfreundliche Umgebung für eine effiziente Verarbeitung. Das hinzugefügte TCU Load Lock und die Plasmaquelle bieten Flexibilität, während der integrierte Hochfrequenzgenerator, die Reinigungskammer und die Nachbearbeitungsmaschine für Präzision und Wiederholbarkeit sorgen und zu überlegenen Prozessergebnissen führen.
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