Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589528 zu verkaufen

LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45
ID: 293589528
Weinlese: 2013
System 2013 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein Ätzer/Ascher zur präzisen Nassätzung von hochwertigen Substraten wie III-V-Komponenten, ultradünnen Wafern und integrierten Siliziumschaltungen (ICs). Dieser hochmoderne Ätzer/Ascher bietet eine Lösung für die Neuentwicklung und Modifizierung von Top-Down-Funktionen bestehender Produkte und erkennt das Potenzial fortschrittlicher Gerätearchitekturen. ONTRAK Kiyo 45 besteht aus zwei Hauptkomponenten - der Prozesskammer und der Steuerungsausrüstung. Die Prozesskammer ist ein präzise hergestelltes Gehäuse aus Edelstahl, das die Erregungsquellen und thermischen Zonen enthält und rezirkulierte Ätzlösung verwendet. Zu den Konstruktionsmerkmalen gehören ein Gehäuse aus Edelstahl, das Hochleistungsvakuumanforderungen entspricht, ein Schwebegewichtssystem zur Minimierung von Vibrationen und eine Basisplatte, die für maximale Temperaturgleichmäßigkeit optimiert ist. Der Hochleistungs-Wasserstrahlkolben, der durch die dualen Anregungsquellen erzeugt wird, erzeugt perfekt ausgerichtete und wiederholbare Merkmalsgeometrien mit Niedrigtemperaturverarbeitungsfähigkeit für schadensanfällige integrierte Schaltungsmaterialien (IC). Die Steuereinheit von LAM RESEARCH Kiyo 45 besteht aus einer leistungsstarken, eingebetteten Automatisierungsmaschine, einem Echtzeitmonitor und einer Sicherheitsverriegelungsmaschine. Das Tool bietet volle Kontrolle über den Ätzprozess von A bis Z, einschließlich Profil- und einstufigen Prozessaufbau, Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung, Asset- und Hardware-Interlocks zum Schutz sowie mehrere fortschrittliche Prozessrezepte zum Ätzen von hochwertigen Substraten. Die benutzerfreundliche grafische Oberfläche ermöglicht einen einfachen Zugriff auf die Prozessparameter, zeigt den Prozessstatus in Echtzeit an und bietet eine vollständige Diagnose aller Prozessparameter. Kiyo 45 ist CE-konform, vollautomatisch und erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners, der Wiederholbarkeit und Prozessreproduzierbarkeit gewährleistet. Der Ätzer kann effektiv zum hochpräzisen Re-Engineering und zur Modifizierung bestehender Komponenten sowie zur Realisierung von Gerätearchitekturen verwendet werden, die tiefe Funktionen erfordern. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 bietet auch ein Sicherheitsverriegelungsmodell und eingebettete Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, die dazu beitragen, konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus kann es auch effektiv für verschiedene Anwendungen wie Grabenätzen, Waferdünnen, Photomasken-Reparatur und zuverlässige MEMS-Geräteherstellung eingesetzt werden.
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