Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9098962 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 Etcher/Asher ist ein Stück Hardware zum Ätzen oder Ablegen dünner Filme auf einem Substrat. Die Einheit ist eine Einkammer-Einzelwafer-Ausrüstung, die mit Hilfe der Plasmaquellentechnologie hervorragende Ätz- und Ascheergebnisse erzielt. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen zu handhaben, von 2 „(50 mm) bis 8“ (203,2 mm) im Durchmesser. Die Prozesskammer ist ein abgedichtetes Edelstahlgehäuse mit einer Quarzdeckwand. Dies ermöglicht eine schnelle Erwärmung und Kühlung und gewährleistet die Verträglichkeit mit korrosiven und gefährlichen Materialien. Die Kammer hat ein einzigartiges Design mit zwei Platten, das eine bessere Prozessisolierung und -kontrolle ermöglicht. Es ist auch mit anspruchsvollen Druckaufnehmern ausgestattet, um die Prozessintegrität und Ausbeute zu erhalten. ONTRAK Kiyo 45 bietet auch eine fortschrittliche Plasmaquellentechnologie, die eine breite Palette von Leistungsstufen und Prozessrezeptflexibilität erzeugt. Es ermöglicht das gleichzeitige Ätzen und Aschen ohne Substratschäden und bietet ultradünnes Folienätzen und Abscheiden sowie Richtungs- und anisotropes Ätzen. Das Gerät ist zudem mit einem robusten Vakuumsystem ausgestattet, das eine schnelle Evakuierung und optimierte Prozesszeiten ermöglicht. LAM RESEARCH Kiyo 45 verfügt über ein hohes Maß an Automatisierung und Bedienung. Es bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und umfassende Datenverwaltungsfunktionen. Es bietet erweiterte Prozessüberwachung und -verfolgung sowie detaillierte Rezeptrückruf- und Wiederholbarkeit. In Verbindung mit einem kompatiblen ONTRAK Prozesskit bietet Kiyo 45 eine komplette Ätz- und Aschelösung. Dazu gehören ein Netzteil, eine Gasfördereinheit, eine visuelle Maschine, ein HF-Werkzeug, ein Elektronikschrank und zusätzliches Zubehör. Mit seiner leistungsstarken Kombination aus Hard- und Software kann LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 dünne Filme ätzen und ablegen, um überlegene Ergebnisse zu erzielen.