Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298318 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein Ätzer/Ascher für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es eignet sich zum Ätzen dünner Filme aus einer Reihe von Materialien, einschließlich Silizium, Kupfer und Aluminium, für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. ONTRAK Kiyo 45 verfügt über eine hohe Kapazität von bis zu 4.500 Wafern pro Stunde und ist damit einer der effizientesten Ätzer auf dem Markt. Das Gerät verwendet eine Ultra-Niederdrucktechnologie, die eine ausgezeichnete Ätzratengleichförmigkeit liefert. Ein vertikales Profil wird durch die Steuerung der Ätzrate auf und ab erzeugt, und das in-situ RIE-System von LAM RESEARCH Kiyo 45 ermöglicht es dem Benutzer, mehrere Schichten gleichzeitig zu ätzen, was die Ätzzykluszeiten erheblich reduziert. Kiyo 45 verwendet auch eine patentierte Constant Pressure Etching Technologie (CPET), die konsistente Ätzraten unabhängig von Geräteänderungen gewährleistet und somit eine hervorragende Einheitlichkeit in der marktführenden Schrittabdeckung und der Funktionsprofilsteuerung bietet. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 mit einem hochauflösenden Bildbetrachter sowie einer hochauflösenden optischen Emissionsspektroskopie-Maschine (OES) ausgestattet. Das OES-Tool bietet Echtzeit-Prozessüberwachung und -kontrolle, so dass der Benutzer den Fortschritt von Ätzprozessen überwachen kann. Darüber hinaus verfügt ONTRAK Kiyo 45 über eine Gasstromsteuerung, die es dem Anwender ermöglicht, die Parameter des Ätzprozesses genau zu steuern, um optimale Ergebnisse zu erzielen. LAM RESEARCH Kiyo 45 verfügt zudem über eine luftgekühlte Kammerkonstruktion, die einen sicheren, sauberen und zuverlässigen Betrieb gewährleistet. Das Modell erfüllt die höchsten Leistungsanforderungen der Branche, da es aus einer fortschrittlichen Werkstoffausrüstung (AMS) hergestellt wird. Kiyo 45 ist auch mit einer Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einem Fernbedienungssystem, einer automatisierten Sicherheitsfunktion und programmierbaren Prozessparametern. Insgesamt ist LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanforderungen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Die fortschrittliche AIR COOLED-Konstruktion, die Ultra-Niederdrucktechnologie und die hochauflösenden Bildanzeigefunktionen machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug in jeder Halbleiterherstellungsanlage.
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