Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298319 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für präzise Mikrofabrikationsanwendungen. ONTRAK Kiyo 45 ist ein integriertes System, das zwei unabhängige Prozesse - Reactive Ion Etching (RIE) und Deep Ashing - in einer Plattform kombiniert, um maximale Prozesseffizienz und Leistung zu bieten. Unter Verwendung einer einzigen Hochdruckverarbeitungskammer kann die Einheit beide Prozesse gleichzeitig oder getrennt betreiben, um ein mehrschichtiges Folienätzen und -veraschen zu ermöglichen. LAM RESEARCH Kiyo 45 wurde entwickelt, um optimale Prozessergebnisse mit einer maximalen Substratgröße von 6,5 „x6,5“ zu erzielen, wobei eine hohe Wiederholbarkeit bei gleichmäßiger Ätzrate erreicht wird. Es verfügt über eine AutoGain Control-Maschine, die die Leistung der Prozesskammer für eine verbesserte Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit jedes Mal beibehält. Die verbesserte magnetische Schwebeturbopumpe reduziert auch Vibrationsniveaus für eine genauere Verarbeitung. Kiyo 45 bietet auch eine überlegene Ätzprofilsteuerung aufgrund seiner einstellbaren Gasdurchflussraten und eine programmierbare Steuerung, mit der der Benutzer Prozessparameter wie Druck, Gesamtfluss und Gasdurchflusszusammensetzung individuell ändern kann. Das Tool bietet zudem die Flexibilität, beliebig viele benutzerdefinierte Prozessabläufe zu speichern, abzurufen und auszuführen. Neben einer präzisen Steuerung und hoher Genauigkeit bietet LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 auch zahlreiche Sicherheitsvorteile zum Schutz von Anwendern, Bedienern und der Umwelt während der Verarbeitung. Es verfügt über einen dreistufigen Überwachungssensor, der das Sicherheitsniveau in jeder Phase des Prozesses überprüft, um Unfälle zu vermeiden. Die Prozesskammer ist vollständig in einem Stickstoffdeckenmodell eingeschlossen, um die sichere Eindämmung von chemischen Dämpfen während des Betriebs zu gewährleisten, und seine Materialverträglichkeit verhindert potenzielle Gefahren durch Gefahrstoffe. Die integrierte Prozesssteuerung von ONTRAK Kiyo 45 bietet intuitive Bedienelemente für eine effiziente Bedienung und einfache Wartung. Das System bietet auch Fernzugriff für Service und Verbesserungen sowie fortschrittliche Messwerkzeuge zur weiteren Datenanalyse von Ätzprozessen. Letztlich bietet LAM RESEARCH Kiyo 45 eine zuverlässige Plattform für Mikrofertigungsanwendungen und bietet Anwendern eine fortschrittliche Ätz- und Aschelösung mit überlegener Leistung und Flexibilität.