Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298320 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE) zum kontrollierten Ätzen von Halbleitermaterialien. Es ist in der Lage, hohe Seitenverhältnisse ätzen mit präziser Steuerung des Profils, durch seine leistungsfähige Plasma-Generator und Vakuum-Pumpsystem. ONTRAK Kiyo 45 ist mit einer einzigen, einstellbaren, mehrachsigen Elektrode zur Präzisionskontrolle über Ätzprofil und Ätzrate ausgestattet. Die Ätzkammer ist aus Edelstahl gefertigt und so ausgelegt, dass sie dem Hochvakuum und dem thermischen Zyklus des Plasmaätzprozesses standhält. LAM RESEARCH Kiyo 45 verwendet eine Reaktionskammer, die mit einem induktiv gekoppelten Plasmagenerator ausgestattet ist. Der Plasmagenerator erzeugt eine energiereiche, vakuumarme Plasmaumgebung, die die Bildung einer für das Ätzen notwendigen reaktiven Spezies mit ausgezeichneter Selektivität und hoher Durchdringungsrate des Ätzens ermöglicht. Kiyo 45 ist mit dem Plasmagenerator, der Vakuumpumpe und den Stromversorgungen ausgestattet, so dass der Ätzprozess in mehreren Standard-Kochmodi ausgeführt werden kann, einschließlich einstufiger und mehrstufiger Rezepte. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 kann betrieben werden, um ein- oder mehrschichtige Substrate in mehreren Standardätzchemikalien wie Trifluorethanol (TFE) und drei fluorierten Kohlenwasserstoffen (TFE, CF4 und SF6) zu ätzen. ONTRAK Kiyo 45 ermöglicht es auch, kundenspezifische, optimierte Ätzrezepte von seinen Anwendern für komplexere Ätzprozesse zu programmieren. Es ist in der Lage, sowohl nasse als auch trockene Reinigungsprozesse, so dass ein hohes Maß an Kammerreinheit und reduzierte Hintergrundverschmutzung. Im Zentrum von LAM RESEARCH Kiyo 45 steht das bewährte Multi-Axis Electrode (MAE) -Design. Das MAE ist ein proprietäres Merkmal von Kiyo 45, das für die schnelle, hochanisotrope, feine Linienätzmusterung anspruchsvoller Halbleitersubstrate optimiert ist. Die MAE ist eine vollständig abstimmbare Elektrode, die eine präzise Ätzsteuerung bietet und über einstellbare Elektroden verfügt, um höhere Seitenverhältnisse und komplexere Ätzmuster zu ermöglichen. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 verfügt über eine vollständige Prozessflexibilität und ist für den Betrieb in einer flexiblen Umgebung konzipiert. Es ist hochautomatisiert und unterstützt verschiedene Datenerfassungs-, Analyse- und Protokollierungsfunktionen für die vollständige Prozessnachverfolgbarkeit. ONTRAK Kiyo 45 ist zudem mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) zur Prozesssteuerung und -überwachung ausgestattet. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH Kiyo 45 für das Präzisionsätzen anspruchsvoller Halbleitermaterialien mit ausgezeichneter Selektivität und hoher Ätzrate in Trocken- und Nassätzchemie konzipiert. Die fortschrittlichen Multi-Axis Electrode (MAE) und Plasmageneratorsysteme ermöglichen eine hochanisotrope, feine Linienätzmusterung mit einstellbaren Elektroden, was hohe Seitenverhältnisse und komplexe Ätzmuster ermöglicht. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) von Kiyo 45 und die Prozessflexibilität machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für das Ätzen von anspruchsvollem Halbleitermaterial.