Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314595 zu verkaufen

LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45
ID: 9314595
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
System, 12" 2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein automatisierter Ätzer/Ascher mit Plasmaätz- und Ätzgenauigkeit. Es wird in der Mikroelektronik-Industrie verwendet, um Komponenten und Geräte im Mikromaßstab wie Mehrschichtchips oder Quantencomputing-Komponenten zu erstellen. ONTRAK Kiyo 45 ist mit einer Zweizonen-Vakuumkammer ausgelegt und kann eine vollständige Endpunktdetektion durchführen. Es ist mit einem In-situ-Wafer-Temperaturmechanismus ausgestattet, der eine genaue und gleichmäßige Temperatur für den Ätzprozess bietet. LAM RESEARCH Kiyo 45 verfügt zudem über eine ferneinstellbare Reaktionskammer, die Flexibilität bei der Steuerung der Ätzparameter bietet. Die Wände der Kammer sind aus hochwertigen Legierungen gebaut, so dass sie korrosionsbeständig sind und dem rauen Ätzprozess standhalten können. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über eine Turbopumpe und ein wellengetriebenes Schieberventil mit einem patentierten, motorlosen Design. Dadurch kann der Anwender die Abscheide- und Sputtergeschwindigkeiten steuern und den Zeitaufwand für die Waferbearbeitung minimieren. Kiyo 45 wird von einem fortschrittlichen zweikanaligen elektronischen Controller mit einer intuitiven Benutzeroberfläche angetrieben und bietet seinen Benutzern eine umfassende Prozesssteuerung. Es ist mit einer Vielzahl von Diagnosefunktionen wie Endpunktbestimmung, Selbstdiagnose von Plasmaparametern und einer Vielzahl von Steuerung der Gas- und Quellenabgabe ausgestattet. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 über Prozesssimulationen, die es dem Benutzer ermöglichen, das Ergebnis eines Prozesses vor dessen Beginn vorherzusagen. ONTRAK Kiyo 45 kann mehrere Wafergrößen aufnehmen, darunter kleine Wafer sowie große Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll. Es ist in der Lage, bis zu zwei 8 "-Wafer gleichzeitig mit der integrierten Lastschloßkammer zu verarbeiten. Der Ätzer verfügt auch über die Fähigkeit zum Mehrschichtätzen, wodurch komplexe Strukturen effizienter hergestellt werden können. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH Kiyo 45 ein automatisierter Ätzer/Ascher, der mit fortschrittlichen Funktionen zur präzisen Ätzung und Abscheidung feiner Mikrogeräte ausgestattet ist. Es verfügt über eine Zweizonen-Vakuumkammer, einen In-situ-Wafer-Temperaturmechanismus, eine einstellbare Reaktionskammer und einen elektronischen Controller mit einer intuitiven Schnittstelle. Kiyo 45 ist auch in der Lage, mehrere Wafergrößen zu verarbeiten und ist mit Prozesssimulationen zur genauen Vorhersage von Prozessergebnissen ausgestattet.
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