Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358695 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist eine leistungsstarke Ätz- und Ascheausrüstung für die Massenproduktion von extrem feinen Mikrostrukturen. Mit modernster Ätz- und Aschetechnik ermöglicht ONTRAK Kiyo 45 eine sehr hohe Genauigkeit und Mikrodetailauflösung. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seines niedrigen Temperaturbereichs und der einfachen Wartung gut für den Einsatz in einer Vielzahl von industriellen Fertigungsprozessen. LAM RESEARCH Kiyo 45 ist in der Lage, präzise, hochgleichmäßige Schichtdicken von Materialien wie Silizium, Nitrid, Siliziumdioxid und Aluminium zu liefern. Dieses System ist sowohl im Batch- als auch im Single-Wafer-Bearbeitungsmodus funktionsfähig und bietet zuverlässige Ätzprozesse auch bei sehr hohem Materialabtrag. Das Ätzen und Aschen wird stark durch die Reaktion des gewählten Ätzgases CF4 oder SF6 angetrieben und ist für einen einfach zu bedienenden Einzelwaferbetrieb ausgelegt. Mit seinem einzigartigen Design verfügt Kiyo 45 über eine Vielzahl von Funktionen, die es extrem effizient für die Chargenverarbeitung machen. Seine offene Einheit macht es einfach, auf das Substrat zuzugreifen und thermisch stabile, präzise, gleichmäßige Ätzung mit überlegenen Kantendefinitionen zu erzeugen. Zusätzlich verwendet die Maschine ein Multi-Source-Plasma, das ihr die Fähigkeit gibt, Inertgas in aktive Spezies für das Aschen umzuwandeln, die schneller und gleichmäßiger ist als das, wozu andere Systeme in der Lage sind. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 hat auch die Fähigkeit, schnelle, wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse zu liefern, auch bei sehr hohen Durchsätzen. ONTRAK Kiyo 45 ist auch für einfache und relativ geringe Wartung ausgelegt. Mit Funktionen wie der leicht zu öffnenden Kammer, automatischen Nachfüllprogrammen für Gas und Versorgung und den zuverlässigen und präzisen In-situ-Massenstromreglern macht es LAM RESEARCH Kiyo 45 einfach, das Werkzeug effizient am Laufen zu halten. Abschließend ist Kiyo 45 ein leistungsfähiges Ätz- und Aschegut, das für die Massenproduktion von Mikrostrukturen entwickelt wurde. Es bietet präzises Ätzen und Aschen auch bei sehr hohen Durchsätzen, mit großer Genauigkeit und Auflösung. Darüber hinaus ist es für einfachen und wartungsarmen Betrieb konzipiert, so dass es eine ideale Wahl für die industrielle Fertigung und viele andere Prozesse.