Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358696 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher für ein breites Anwendungsspektrum. Die Ausrüstung ist für eine einfache Bedienung ausgelegt, so dass der Bediener den Durchsatz maximieren und Ausfallzeiten minimieren kann. Es bietet hohe Auflösung und gleichmäßige Verarbeitung für kritische Ätz- und Ascheoperationen. Das System nutzt fortschrittliche gepulste DC-Plasmatechnologie, die eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Es verfügt über erweiterte Automatisierungs- und Sicherheitsoptionen, wie automatische Substrat-Wafer-Handhabung und Echtzeit-Überwachung und Steuerung von Prozessparametern. Mit seinen erweiterten Steuerungsfähigkeiten kann das Gerät auch zur Inline-Plasmaoberflächenmodifizierung verwendet werden. Die Maschine bietet eine breite Palette von Prozessen wie Ätzen, Asche, Ätzen/Asche/Reinigen, Ätzen/Asche/Reinigen/Ätzen und Reinigen. Es kann sowohl positive als auch negative Photolackanwendungen verarbeiten. Der patentierte E-Mechanismus bietet eine hohe Ätzrate, hohe Gleichmäßigkeit und ein niedriges Rundprofil für die meisten Ätzanwendungen. ONTRAK Kiyo 45 ist mit einem integrierten Gaskasten für die Plattenschildverarbeitung, optimierte Abscheidung/Ätzleistung und E-Feld-Gleichmäßigkeit konfiguriert. Es hat eine kleine Stellfläche und ist mit zwei Futterabdeckungen ausgestattet, um eine ausgezeichnete Isolierung des Futters während der Verarbeitung zu gewährleisten. Mit seiner fortschrittlichen Steuerungsmaschine bietet LAM RESEARCH Kiyo 45 Prozessüberwachung und Überwachung anderer kritischer Parameter wie Temperatur, Druck und Druckkrümmungsreaktion. Für mehr Sicherheit ist es mit mehreren eingebauten Sicherheitsfunktionen wie einem HF-Ein/Aus-Schalter, einem Verriegelungsschalter für den mechanischen Zugang, einer isolierten Kammer und einem erweiterbaren Not-Aus-Werkzeug ausgestattet. Das Asset umfasst auch zusätzliche Funktionen wie ein integriertes Fernüberwachungs- und Steuerungsmodell, Reflow-Fähigkeiten und einen Sauerstoff/Stickstoff-Generator. Kiyo 45 wurde entwickelt, um mit anderen ONTRAK-Produkten kompatibel zu sein und bietet Betreibern eine großartige Plattform, auf der sie aufbauen können. Mit seiner Vielseitigkeit und Robustheit ist der LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 eine ausgezeichnete Wahl für ein breites Spektrum an Ätz-/Ascheoperationen.
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