Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518 zu verkaufen

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ID: 196518
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
ICP Poly etcher, 8" Specifications: Electrostatic Chuck Envision Software Heater jackets for turbo pump and Vat Valve 8 MFC Gas Box Includes dry pumps for load lock and process chamber Currently de-installed and in storage 1997 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist eine kompakte, leistungsstarke, trockene Ätzlösung für Substratätzanwendungen. Das Gerät ist in der Lage, Substrate mit einer Dicke von bis zu 4mm zu verarbeiten, und seine ausgeklügelte Software-Steuerung bietet eine hohe Präzisionskontrolle von Prozessparametern und Wiederholbarkeit. ONTRAK TCP 9400 SE kombiniert schnelle Zykluszeiten und eine ausgeklügelte Prozesssteuerung und ist eine ideale Wahl für die Substratätzung und -verarbeitung. Das Gerät ist mit einer Gasfördermaschine ausgestattet, die sowohl Sauerstoff als auch Chlor aus zwei getrennten Behältern liefern kann. Das Gasförderwerkzeug ist so ausgelegt, dass während des Ätzvorgangs ein gleichmäßiger Gasstrom zum Substrat erfolgt. Darüber hinaus wurde das Asset so konzipiert, dass es leicht upgradbar ist, um eine höhere Performance zu bieten. LAM RESEARCH TCP 9400 SE verfügt über zwei unabhängig voneinander einstellbare, temperaturgesteuerte Prozessfutter, mit denen verschiedene Substrate parallel geätzt werden können, um den Durchsatz zu erhöhen. Eine Heizplatte ist auch zur gleichmäßigen Erwärmung von Substraten verfügbar, und eine Vollfunktions-Fernzugriffstaste ermöglicht eine einfache Bedienung des Modells. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein integriertes Kühlpaket, das eine präzise Temperaturregelung während der Prozesszykluszeiten ermöglicht. Das System kommt mit einer Reihe von integrierten Zubehör und Werkzeugen, einschließlich einer Ätzsonde, Pinzette und Läppwerkzeug für Präzisionsprozesse. Die Datenausgabe des Geräts erfolgt sowohl in visuellen als auch in programmierbaren Formaten, was eine einfache Analyse und Steuerung von Prozessvariablen ermöglicht. Darüber hinaus bietet die Maschine aufgrund ihrer Hochgeschwindigkeits-Regelung eine schnelle Taktzeitfähigkeit. TCP 9400 SE ist eine zuverlässige und vielseitige Ätzlösung für eine Reihe von Substratätzanwendungen. Mit seiner hohen Leistung und Präzisionssteuerung kann es die Effizienz und den Durchsatz für den Benutzer erhöhen. Darüber hinaus ermöglichen die fortschrittliche Software und das integrierte Zubehör einen einfachen Zugriff und die Steuerung des Ätzprozesses.
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