Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293587268 zu verkaufen

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 293587268
Wafergröße: 6"
ICP Etcher, 6".
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der heutigen Halbleiterproduktionsanlagen gerecht wird. Es bietet das präzise Ätzen und Aschen von Photomasken und anderen Materialien in einer effizienten, Schritt-für-Schritt-Weise. ONTRAK TCP 9400 SE ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten und bietet Flexibilität in der Größe und Form von Masken. Es bietet acht verschiedene Maskenkonfigurationen, einschließlich der Möglichkeit, eine, zwei oder drei Ebenen zu ätzen und verfügt über eine integrierte Mustererkennung zur Ausrichtung. Darüber hinaus bietet es eine präzise Temperaturregelung und ein hochzuverlässiges integriertes Prozessautomatisierungssystem. LAM RESEARCH TCP 9400 SE nutzt fortschrittliche Ätz- und Aschetechnologie mit dem Hauptziel, Verunreinigungen von allen Oberflächen zu entfernen. Für den Ätzvorgang wird eine in ein flüssiges Medium eintauchende oszillierende Elektrode und für den Aschvorgang eine beheizte Ofenkammer mit einem Plasmabrenner verwendet. Die Ätzelektrode kann ihre Position einstellen, um ein optimales Ätzen zu erreichen, während der Brenner Temperaturen bis zu 2000 ° C erreichen kann, um das Material schnell zu ätzen. TCP 9400 SE ist in der Lage, die Ätz- und Ascheparameter unter Verwendung einer Kombination aus verschiedenen Reglern und Messgeräten innerhalb vorgegebener Grenzen zu halten. Temperatursensoren, Positionssensoren, Druckaufnehmer und Durchflussmesser werden verwendet, um alle Elemente des Ätz- und Ascheprozesses zu überwachen, um Präzision und Konsistenz zu gewährleisten. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist mit einer umfassenden Suite von Software- und Hardwareverbesserungen ausgestattet, einschließlich einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI), benutzerdefinierter Verfahrensautomatisierung und Datenprotokollierung. Die Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, die Prozessschritte einfach zu definieren, während die benutzerdefinierte Prozessautomatisierung es dem Benutzer ermöglicht, die automatisierten Prozessschritte zu ändern, um die Vorgänge anzupassen. Das Datenprotokoll speichert Ergebnisse und kann verwendet werden, um Trends anzuzeigen und Prozessinformationen zu speichern. ONTRAK TCP 9400 SE ist ideal für die Hochvolumenverarbeitung und verfügt über eine langlebige Rahmenkonstruktion mit integriertem Sicherheits- und Qualitätssicherungssystem. Es ist CE-zertifiziert und erfüllt die strengsten internationalen Standards, um eine konsistente und zuverlässige Leistung zu gewährleisten.
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