Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134000 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 9134000
Etcher, 8" SMIF General Configuration: TCP 9400 Stand alone Bulkhead Hepa present: Yes Indexer type: Standard, hine 38A Control system classic or envision: Classic Remote AC box: Yes Chiller: RISSHI EX-1000 (l) SMIF: LPT2200 (2) TCP Generator: 660-024637-006, AE RFDS Bias generator: 660-024637-003, AE RFG1250 Microwave: No DSQ: No Hinged DSQ: No DSQ / MW Generator: No Generators: No Top match: Yes Bottom match: Yes Variable gap: No Fixed gap: Yes ESC: Yes Clamped system: No Backside He UPC: UNIT 50sccm UPC-1300 Backside He manometer: 853-017643-003,Tylan Upgraded variable gap: No VAT64: Yes; VAT valve system VAT65: No Turbo type: SEIKO SEIKI STP-H1000L Endpoint detector type: 853-001983-005; 405/520um Heated endpoint windows: Yes Anafaze type: Yes Gas box unit or orbital: Vertial MFC #1: CI2-200 sccm; Area FC-780C MFC #2: CF4-200 sccm; Area FC-770AC MFC #3: 02-10 sccm: Area FC-780C MFC #4: He-200 sccm: Area FC-770AC MFC #5: HBr-200 sccm: Area FC-780C MFC #6: SF6-200 sccm: Area FC-770AC MFC #7: 02-200 sccm: Area FC-770AC MFC #8: S02-100 sccm: Area FC-780C MFC #10: No MFC #11: No MFC #12: No WVDS: No Autofill WVDS: No Backside He regulator: No Chamber manometer: Millipore CMH4-MllS19E; 0.1torr Trubo manameter: 853-031540-001: MKS 625A11TDE; 10torr Pumping line manameter: MKS 625AllTDE;10torr Heartbeat PCB: 810-017012-002 Turbo / Controller: Yes Turbo heaters: Yes Bulkhead or ballroom components: Yes Covers: Yes Indexers: Yes ELL: Yes Chamber: Yes VAT Assy and controller: Yes XLL: Yes Gas box: Yes AC / DC box: Yes Control enclosure: Yes Upper match enclosure: Yes Lower match enclosure: Yes Calibration tool: Yes Chamber parts: Yes (1) set User manual: Yes Pressure control: Yes Cables arid harnessing: Chiller signal interface cable: Yes Chiller EMO cable: Yes Chiller power cable: Yes Generator signal interface cable: Yes Generator EMO cable: Yes Generator power cable: Yes Remote AC box EMO cable: Yes Etcher power cable: Yes 1996 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um durch den Einsatz modernster Technologien einheitliche und reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Dieses System eignet sich besonders gut für Ätz- und Ascheprozesse bei der Herstellung von Dünnschichten, wie Halbleiterbauelementen. ONTRAK TCP 9400 SE verwendet einen Hochfrequenzgenerator (RF), um die notwendige Leistung für Ätz- und Aschevorgänge zu liefern. Dieser HF-Generator wird von einem Computer gesteuert, der eine präzise Steuerung der Leistung und Drehzahl des Ätzvorgangs ermöglicht. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH TCP 9400 SE mit fortschrittlichen Rückkopplungssensoren ausgestattet, die die Ätzrate und Gleichmäßigkeit in Echtzeit überwachen können und eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglichen. Die Ätz- und Ascheeinheit umfasst auch eine Vakuumkammer, die den Prozess erleichtert, indem eine kontrollierte Umgebung frei von Verunreinigungen und anderen luftgetragenen Partikeln bereitgestellt wird, die den Prozess beeinträchtigen könnten. Außerdem trägt die Kammer zur Aufrechterhaltung konstanter Verarbeitungsbedingungen und zur Beseitigung von Verunreinigungen des Substrats bei. TCP 9400 SE verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen, die Benutzern eine zusätzliche Schutzschicht bieten, z. B. einen Not-Aus-Schalter, der aktiviert werden kann, wenn sich der Prozess nicht wie erwartet verhält. Es wird auch mit einer Temperatur- und Feuchtigkeitskontrollmaschine ausgestattet, um konsistente Temperaturen und Feuchtigkeitswerte zu gewährleisten, die für erfolgreiche Ätz- und Aschevorgänge erforderlich sind. Das Werkzeug enthält auch eine robuste Kühleinrichtung, die hilft, sicherzustellen, dass der Ätz- und Aschevorgang ohne Überhitzung des Substrats durchgeführt wird. Dieses Kühlmodell ist mit mehreren Temperatursensoren ausgestattet, die es dem Regler ermöglichen, eine konstante Temperatur für den Prozess aufrechtzuerhalten. Schließlich ist LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE mit einem fortschrittlichen HF-Feed-Aspekt ausgestattet, der genaue Spur- und Querschnittsspannungsmessungen ermöglicht und eine genauere Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Insgesamt bietet ONTRAK TCP 9400 SE alle wesentlichen Funktionen, die für erfolgreiche Ätz- und Ascheprozesse erforderlich sind. Mit seinem fortschrittlichen HF-Generator, der Vakuumkammer, den Sicherheitsmerkmalen, der Kühlausrüstung und dem HF-Zuführungsaspekt ist diese Maschine ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug zur Erzeugung einheitlicher und reproduzierbarer Ergebnisse bei Ätz- und Ascheprozessen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor