Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134000 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9134000
Etcher, 8"
SMIF
General Configuration:
TCP 9400 Stand alone
Bulkhead
Hepa present: Yes
Indexer type: Standard, hine 38A
Control system classic or envision: Classic
Remote AC box: Yes
Chiller: RISSHI EX-1000 (l)
SMIF: LPT2200 (2)
TCP Generator: 660-024637-006, AE RFDS
Bias generator: 660-024637-003, AE RFG1250
Microwave: No
DSQ: No
Hinged DSQ: No
DSQ / MW Generator: No
Generators: No
Top match: Yes
Bottom match: Yes
Variable gap: No
Fixed gap: Yes
ESC: Yes
Clamped system: No
Backside He UPC: UNIT 50sccm UPC-1300
Backside He manometer: 853-017643-003,Tylan
Upgraded variable gap: No
VAT64: Yes; VAT valve system
VAT65: No
Turbo type: SEIKO SEIKI STP-H1000L
Endpoint detector type: 853-001983-005; 405/520um
Heated endpoint windows: Yes
Anafaze type: Yes
Gas box unit or orbital: Vertial
MFC #1: CI2-200 sccm; Area FC-780C
MFC #2: CF4-200 sccm; Area FC-770AC
MFC #3: 02-10 sccm: Area FC-780C
MFC #4: He-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #5: HBr-200 sccm: Area FC-780C
MFC #6: SF6-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #7: 02-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #8: S02-100 sccm: Area FC-780C
MFC #10: No
MFC #11: No
MFC #12: No
WVDS: No
Autofill WVDS: No
Backside He regulator: No
Chamber manometer: Millipore CMH4-MllS19E; 0.1torr
Trubo manameter: 853-031540-001: MKS 625A11TDE; 10torr
Pumping line manameter: MKS 625AllTDE;10torr
Heartbeat PCB: 810-017012-002
Turbo / Controller: Yes
Turbo heaters: Yes
Bulkhead or ballroom components: Yes
Covers: Yes
Indexers: Yes
ELL: Yes
Chamber: Yes
VAT Assy and controller: Yes
XLL: Yes
Gas box: Yes
AC / DC box: Yes
Control enclosure: Yes
Upper match enclosure: Yes
Lower match enclosure: Yes
Calibration tool: Yes
Chamber parts: Yes (1) set
User manual: Yes
Pressure control: Yes
Cables arid harnessing:
Chiller signal interface cable: Yes
Chiller EMO cable: Yes
Chiller power cable: Yes
Generator signal interface cable: Yes
Generator EMO cable: Yes
Generator power cable: Yes
Remote AC box EMO cable: Yes
Etcher power cable: Yes
1996 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um durch den Einsatz modernster Technologien einheitliche und reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Dieses System eignet sich besonders gut für Ätz- und Ascheprozesse bei der Herstellung von Dünnschichten, wie Halbleiterbauelementen. ONTRAK TCP 9400 SE verwendet einen Hochfrequenzgenerator (RF), um die notwendige Leistung für Ätz- und Aschevorgänge zu liefern. Dieser HF-Generator wird von einem Computer gesteuert, der eine präzise Steuerung der Leistung und Drehzahl des Ätzvorgangs ermöglicht. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH TCP 9400 SE mit fortschrittlichen Rückkopplungssensoren ausgestattet, die die Ätzrate und Gleichmäßigkeit in Echtzeit überwachen können und eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglichen. Die Ätz- und Ascheeinheit umfasst auch eine Vakuumkammer, die den Prozess erleichtert, indem eine kontrollierte Umgebung frei von Verunreinigungen und anderen luftgetragenen Partikeln bereitgestellt wird, die den Prozess beeinträchtigen könnten. Außerdem trägt die Kammer zur Aufrechterhaltung konstanter Verarbeitungsbedingungen und zur Beseitigung von Verunreinigungen des Substrats bei. TCP 9400 SE verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen, die Benutzern eine zusätzliche Schutzschicht bieten, z. B. einen Not-Aus-Schalter, der aktiviert werden kann, wenn sich der Prozess nicht wie erwartet verhält. Es wird auch mit einer Temperatur- und Feuchtigkeitskontrollmaschine ausgestattet, um konsistente Temperaturen und Feuchtigkeitswerte zu gewährleisten, die für erfolgreiche Ätz- und Aschevorgänge erforderlich sind. Das Werkzeug enthält auch eine robuste Kühleinrichtung, die hilft, sicherzustellen, dass der Ätz- und Aschevorgang ohne Überhitzung des Substrats durchgeführt wird. Dieses Kühlmodell ist mit mehreren Temperatursensoren ausgestattet, die es dem Regler ermöglichen, eine konstante Temperatur für den Prozess aufrechtzuerhalten. Schließlich ist LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE mit einem fortschrittlichen HF-Feed-Aspekt ausgestattet, der genaue Spur- und Querschnittsspannungsmessungen ermöglicht und eine genauere Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Insgesamt bietet ONTRAK TCP 9400 SE alle wesentlichen Funktionen, die für erfolgreiche Ätz- und Ascheprozesse erforderlich sind. Mit seinem fortschrittlichen HF-Generator, der Vakuumkammer, den Sicherheitsmerkmalen, der Kühlausrüstung und dem HF-Zuführungsaspekt ist diese Maschine ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug zur Erzeugung einheitlicher und reproduzierbarer Ergebnisse bei Ätz- und Ascheprozessen.
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