Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9181362 zu verkaufen

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ID: 9181362
Poly etcher.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Es bietet eine einachsige dreiachsige mechanische Bewegungsausrüstung für genaue und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse. ONTRAK TCP 9400 SE ist in der Lage, größere Offenflächenfaktoren (OAF) als herkömmliche kreisförmige Ätzsysteme zu erreichen, wodurch die Anzahl der erforderlichen Umschichtungen reduziert wird. LAM RESEARCH TCP 9400 SE kann bis zu Zwei-Mikron-Ätzungen machen und kann präzise eine Vielzahl von Wafergrößen von 150mm bis 300mm ätzen. TCP 9400 SE nutzt die ONTRAK-proprietäre MatchMotion-Technologie. Die MatchMotion-Technologie ist ein Softwaresystem, das alle drei Achsen beim Ätzen koordiniert, Fehlausrichtungen beseitigt und die Notwendigkeit häufiger Neukalibrierungen reduziert. Das Gerät nutzt die PatchMotion-Technologie auch, um programmierte, optimierte Ätzungen für bestimmte Anwendungen zu erstellen. Es ist auch kompatibel mit MaskAdapt-Algorithmen, um den Durchsatz für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu maximieren. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ermöglicht eine präzise Steuerung des in der Halbleiterherstellung kritischen Ätzprozesses. Die Maschine verwendet ein Rückkopplungswerkzeug, um sicherzustellen, dass die Ätzung präzise ist, mit einem wiederholbaren Ergebnis über mehrere Chargen. Das Asset enthält auch eine Echtzeit-optische Inspektionsfunktion, die Unvollkommenheiten während des Ätzens erkennen kann, so dass Korrekturen sofort vorgenommen werden können. Darüber hinaus ist ONTRAK TCP 9400 SE für verschiedene Drücke, Temperaturen und Prozesschemien für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen konfigurierbar. Neben seiner Genauigkeit und Präzision ist LAM RESEARCH TCP 9400 SE auf maximale Effizienz und Komfort ausgelegt. Die automatisierten Kassetten-zu-Kassetten-Funktionen des Modells ermöglichen die Verarbeitung mehrerer Wafer ohne manuellen Eingriff. Es verfügt auch über eine integrierte Abgasanlage, um den Arbeitsbereich frei von schädlichen Dämpfen zu halten. Darüber hinaus ist das System mit mehreren Formkonfigurationen ausgestattet und verfügt über eine komplette Suite von Diagnosetools zur einfachen Wartung und Einheitenoptimierung. Abschließend ist TCP 9400 SE ein zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Es bietet eine einachsige dreiachsige Bewegungsmaschine, die präzise, wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es enthält auch Funktionen wie MatchMotion und PatchMotion-Technologie, MaskAdapt-Algorithmen, optische Inspektion, automatisierte Kassetten-zu-Kassetten-Funktionen und eine komplette Suite von Diagnosetools. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist eine ideale Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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