Gebraucht LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist ein Ätzer/Ascher, der kritische Ätz- und Ascheoperationen für eine Reihe von Materialien in einer Vielzahl von Branchen durchführen kann. Dank seines einzigartigen Designs, das auf Wirtschaftlichkeit und Skalierbarkeit ausgelegt ist, kann es für eine Reihe verschiedener Anwendungen verwendet werden. Diese Maschine verfügt über eine High-Speed-Wafer-Transportausrüstung und die Fähigkeit, schnell zwischen Hochdruck-, Niederdruck-, Ätz- und Aschevorgängen zu fahren, während die Wiederholbarkeit des Prozesses aufrechterhalten wird. ONTRAK TCP 9400 SE bietet mit reduziertem Verbrauchsmaterialeinsatz und hoher Durchsatzleistung maximale Leistung und Prozesskontrolle. Das Herzstück von LAM RESEARCH TCP 9400 SE ist das keramisch geschlossene Plasmakammerdesign. Diese Funktion wurde für eine optimale Wärmeübertragung und einen sicheren, effizienten Einsatz des Prozessgases entwickelt. Die Keramikkammer behält eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit bei, um einen schnellen und wiederholbaren Ätzvorgang zu gewährleisten. Um die Ätzleistung weiter zu optimieren, verfügt diese Maschine über eine integrierte Prozessdrucküberwachung, die eine Feinabstimmung ermöglicht und für Konsistenz sorgt. Um Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, enthält TCP 9400 SE ein patentiertes Feedback Control System (FCS). Das FCS arbeitet durch Überwachung des Filamentspannungsprofils am Wafer und passt den Prozessdruck und die Zeit automatisch an vorgegebene Bedingungen an. Dadurch kann die Einheit die Prozesssteuerung zurückgewinnen, wenn sich während des Ätzvorgangs eine Wafereigenschaft ändert. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE verfügt auch über eine digitale Prozessaufzeichnungsmaschine. Dieses Tool speichert alle Prozessparameter während jedes Ätzzyklus, sodass die genauen Prozessparameter für jeden verarbeiteten Wafer neu erstellt werden können. Darüber hinaus ermöglichen die in der Datenbank gespeicherten Prozessvariablen bei Bedarf eine statistische Prozesssteuerung und Prozessverbesserung. Die Prozessrezept-Software ermöglicht es der Maschine, mehrere Rezepte für verschiedene Wafertypen zu speichern und automatisch auszuführen. Es kann auch Batch-Durchschnittsdaten und prozessbezogene Informationen speichern. Dies erleichtert das Speichern, Überprüfen und Exportieren von Ätzprotokollen zur Qualitätskontrolle und Qualitätssicherung. Schließlich ist ONTRAK TCP 9400 SE für einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Es verfügt über ein großes Frontplatten-Display mit einfach zu bedienenden Bedienelementen, um eine schnelle und einfache Bedienung zu ermöglichen. Für die Wartung sind alle kritischen Komponenten von außen leicht zugänglich. LAM RESEARCH TCP 9400 SE ist eine vielseitige, zuverlässige und zuverlässige Maschine, die perfekt für diejenigen ist, die ihre Produktivität und Effizienz in ihren Ätz- und Ascheprozessen steigern möchten.