Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169565 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese Ausrüstung bietet einen hochgenauen und kontrollierbaren Ätzprozess zur hochpräzisen Strukturierung von Siliziumscheiben und anderen fortschrittlichen Materialien. Es eignet sich zum Ätzen von Metall, Polysilizium, Siliziumdioxid, Quarz, Nitrid und dielektrischen Materialien. Dieses System ist mit fortschrittlichen Funktionen wie unabhängigen Plasma- und Ätzgasdichten und einem High-End-Gasfördermechanismus ausgestattet. Die integrierte Verarbeitungssteuerungssoftware unterstützt Präzisionsrezepte und optische Endpunkterkennung in situ. Rainbow 4000 Series ist mit einer Multi-Source, Hochleistungs-induktiv gekoppelten Plasma (ICP) -Quelle ausgestattet, die ein einheitliches Plasma in der Prozesskammer erzeugt. Es ist in der Lage, hochdichtes Plasma mit präziser Kontrolle über Dichte und Leistung zu produzieren. Der Plasmagenerator kann mit schnellen Einschalt- und Ausschaltzyklen bis zu 25kW Leistung liefern, was eine hohe Ätzrate ermöglicht. Das hochdichte Plasma eignet sich auch für Prozesse, die sehr niedrige sauerstoffhaltige Spezies erfordern. Der Rainbow 4000 nutzt auch eine hoch kontrollierbare Gasfördereinheit. Diese Maschine ist in der Lage, bis zu fünf verschiedene Gase gleichzeitig zu liefern. Je nach Ätzprozess können die Gase drei Ätzarten, ein Passivierungsgas zur Minimierung der Ätztiefenvariabilität und ein Spülgas zur Entfernung von Nebenprodukten umfassen. Die weichen offenen und engen Strömungsregler sorgen für konstanten Ätzkammerdruck und gleichmäßige Ätzgleichförmigkeit. Das Tool ist auch mit fortschrittlichen Controllern für präzise und wiederholbare Prozessergebnisse ausgestattet. Rainbow 4000 Systeme bieten in situ Endpunkt-Erkennung, um das Ende des Ätzprozesses zu überwachen. Das Asset verwendet außerdem eine „SoftLanding“ -Funktion, um die Ätzgleichmäßigkeit durch automatische Anpassung des Ätzprozess-Endpunkts zu verbessern. Das integrierte Rezeptoptimierungs- und Managementmodell trägt dazu bei, einen stabilen, wiederholbaren Prozess aufrechtzuerhalten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Funktionen bietet LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series etcher/asher ein verbessertes Thermomanagement mit einem patentierten hocheffizienten HEDP-Gasheizer. Dieses Gerät wird auch von LAM RESEARCH Global Service Network unterstützt, das weltweit technischen Support und Installationsdienstleistungen anbietet. Rainbow 4000 Series ist eine hervorragende Lösung für fortschrittliche Ätz- und Ascheprozesse.