Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169566 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist ein Ätzer/Ascher, der den hohen Anforderungen moderner Halbleiterbauelemente gerecht wird. Die 4000 Serie ist eine spezielle elektrochemische Abscheide-/Ätzausrüstung, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es verfügt über einen vollautomatischen, modularen Aufbau, der einen effizienten Betrieb und maximale Flexibilität in der Produktion ermöglicht. Das System nutzt mehrere Ätztechnologien, darunter Trockenätzen, reaktives Ionenätzen (RIE), Plasmaätzen (PIE) und chemisches Atmosphärendruckätzen (APCE). Das Gerät ist speziell für die präzise Abscheidung und Ätzung auf Halbleitersubstraten ausgelegt. Rainbow 4000 Series verwendet hochmoderne Prozesskontroll- und Überwachungsfunktionen, um konstant hochwertige Ätzergebnisse zu liefern. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu handhaben, einschließlich Silizium, Silizium auf Isolator (SOI) und Polysilizium. Es ist sehr konfigurierbar, so dass verschiedene Ätzrezepte bestimmte Prozessanforderungen erfüllen. Es verwendet in erster Linie HF-Leistung für den Prozess, obwohl es auch kompatibel mit Mikrowelle und Gleichstrom (DC) Stromquellen ist. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist in der Lage, komplexe Ätzprozesse zu handhaben, die sowohl Ätz- als auch Abscheidungsprozesse erfordern. Sie kann beispielsweise zur Bildung von Metallkontakten, wie sie für Leiterbahnen verwendet werden, auf der Oberfläche eines Gerätes verwendet werden. Es ist auch ideal für andere allgemeine Ätzanwendungen, einschließlich Trimmen, Feinmustern und Kavitätenbildungsprozesse. Die Rainbow 4000 Serie verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, die sowohl das Personal als auch die Ausrüstung schützen. Es verwendet umfangreiche Sperr- und Schutzverfahren, so dass Prozessfehler und auslaufende Bedingungen sofort erkannt und angegangen werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine umfassende Datenbank für Prozessrezepte und ein ferngesteuertes Terminal zur Fernüberwachung und -steuerung. Die 4000 Serie ist mit einer Reihe von Einfachheit und Komfort Maßnahmen entworfen. Hochgeschwindigkeitsrobotik und Programmierbarkeit ermöglichen schnelle Rüstzeiten, reduzierte Wartungskosten und einen höheren Durchsatz. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein einzigartiges Niederspannungsnetzteil, das Artefakte reduziert, die häufig mit Ätz- und Abscheidungsprozessen verbunden sind. Insgesamt ist die LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der viele der Anforderungen an moderne Halbleiterbauelemente erfüllt. Es liefert präzise Ätz- und Abscheidungsergebnisse, ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu handhaben und sorgt durch seine umfassenden Überwachungs- und Schutzfunktionen für Sicherheit. Das intuitive Design und die benutzerfreundliche Bedienung machen es zu einer idealen Ätzlösung für die Halbleiterindustrie.
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