Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die den Anforderungen der komplexesten Waferbearbeitungsanwendungen gerecht wird. Dieses System verfügt über eine modulare Plattform, die sich an jede Anwendung anpasst und gleichbleibende Leistung bietet. Die einzigartige Architektur des Geräts ermöglicht es, bis zu drei zusätzliche Module für weitere Erweiterbarkeit und Vielseitigkeit leicht hinzuzufügen. Die Rainbow 4000 Serie ist mit einer Crystal Front Target Assembly (CFTA) ausgestattet, die thermisch gekoppelte Ätz- und Aschefunktionen mit präziser Kontrolle über Temperatur und Druck bietet. Darüber hinaus ist diese Maschine für zuverlässige mittlere bis hohe Serienläufe ausgelegt, mit fortschrittlicher Bewegungssteuerung, die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. Ausgestattet mit zwei 1,75 kW HF-Generatoren ist die LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series in der Lage, bis zu 6 Wafer-Zyklen pro Minute zum Ätzen durchzuführen und so den Durchsatz zu erhöhen. Darüber hinaus verwendet das Tool On-Board-kontextsensitive Software, die sich an die Prozessparameter und Wafer-Eigenschaften anpasst und eine ordnungsgemäße Integration der Module und eine vereinfachte Bedienung gewährleistet. Rainbow 4000 Series ermöglicht eine präzise Steuerung von Parametern wie Temperatur, Druck, HF-Leistung, Aschenzeit und Ätzzeit. Die automatisierte Parametersteuerung macht dieses Asset ideal für eine gleichmäßige Wafer-Gleichmäßigkeit über die gesamte Substratoberfläche. Für einfacheres Wafer Handling und Transport ist die LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series mit einem integrierten Wafer Transport Modell konzipiert. Dieses Gerät verfügt über eine Fokuskammer, einen Wafer-Handler und eine Aufnahmekammer, die sich zu einem flexiblen Wafer-Handhabungssystem kombinieren. Dieser Mechanismus kann eine breite Palette von Wafergrößen und -formen sowie ein- und zweiseitige Wafer handhaben. Mit einem optimierten Robotic End Effector sorgt das Gerät für zuverlässiges Handling und präzise Wafer-Positionierung. Für den Reinraumbetrieb ist die Rainbow 4000 Serie auf einem kompakten, hochbelastbaren Rahmen mit schwingungsdämpfenden Eigenschaften aufgebaut. Die Plattform ist für einfache Bedienung durch Funktionen wie Detailerkennung, intuitive Touchscreen-Schnittstelle, zuverlässige Vernetzung und Maschinenwartungsfunktionen konzipiert. Um die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten, ist das Werkzeug mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die Übertemperatur, Überdruck und elektromagnetischen Störschutz umfassen. Die LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist das ideale Werkzeug für Ätz- und Ascheanwendungen, das hohe Präzision, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit ermöglicht. Mit der Multitasking-Fähigkeit und dem modularen Aufbau ist dieses Asset eines der fortschrittlichsten Ätz-/Aschersysteme auf dem Markt.