Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169569 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist ein Ätzer/Ascher, der eine Kombination aus Präzisionsplasmaätzen und sauberen chemischen Ätz- und Aschetechniken bietet. Dieses Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen, die es ideal für mehrere Branchen machen, darunter Halbleiter, Automobil, Telekommunikation, Unterhaltungselektronik, Optik und Medizinprodukte. Das Design der Rainbow 4000 Series besteht aus zwei getrennten Ätzkammern, einer für das chemische Ätzen und einer für das Plasmaätzen, die durch die gleiche Prozessschaltung verbunden sind. Dieses System verfügt auch über die HFIC (High-Frequency Impedance Control) -Technologie von LAM, die eine präzise Steuerung der Ätzrate, Wafer-by-Wafer-Modifikationen und Prozessfähigkeit über eine breite Palette von Substraten ermöglicht. Die LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series wurde entwickelt, um hohe Durchsatz- und Produktionserträge sowohl beim chemischen als auch beim Plasmaätzen zu erzielen. Die fortschrittlichen, computergesteuerten programmierbaren Prozessparameter des Geräts ermöglichen eine Feinabstimmung und Reproduzierbarkeit über mehrere Ätzchargen. Die fortschrittliche Flexi-Etch Auto-Tuning-Technologie verbessert die Prozesskontrolle und ermöglicht eine Optimierung der Ätzrate und Gleichmäßigkeit über eine breite Palette von Substraten. Für chemisches Ätzen umfasst die Rainbow 4000 Series eine Swing Arm Transfer Machine, die eine einfache Teilebeladung und eine chemische Ätzkammer mit der Superior RF Bal ECR (Radio Frequency Balanced Etch Control) -Technologie von LAM ermöglicht. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit PFPE (Perfluorpolyether-basierte) Chemische Ätzchemie konzipiert, eine umweltfreundliche Option, die die Notwendigkeit für gefährliche Chemikalien eliminiert. Die Plasmaätzkammer der LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series bietet hohe Ätzgleichmäßigkeit und konsistente Wafer-zu-Wafer-Durchgänge. Dieses Asset verfügt über ein fortschrittliches Edge Etch Control Modell und eine spulenlose HF-Stromversorgungsausrüstung, um Gleichmäßigkeit und Temperaturgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die Plasmaätzkammer enthält auch ein eingebautes Kaskadenkühlsystem, das wiederholbare Ätzraten und höhere Erträge gewährleistet. Für verbesserte Sicherheit und Kontrolle enthält die Rainbow 4000 Series eine erweiterte, passwortgeschützte Zugriffseinheit. Es umfasst auch ein integriertes Prozessüberwachungszentrum, einen ESD-Monitor (ElectroStatic Discharge) und eine leistungsstarke Multi-Terminal-Benutzeroberfläche. Die Maschine ist vollständig mit den neuesten Software-Updates integriert und ihr beiliegendes Design reduziert den Geräuschpegel. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series ist ein leistungsstarkes Ätzer/Ascher-Tool, das mit fortschrittlichen Funktionen für optimale Leistung und Produktionserträge integriert ist. Die zwei Ätzkammern, die präzise Steuerung von Prozessparametern und die Prozessüberwachung machen es zur perfekten Lösung für Industrien, die sowohl chemische als auch Plasmaätzprozesse benötigen.