Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293814660 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293814660
Etchers
(2) Load stations
(2) Robot arms
(5) ADIO
(2) Mini matches
(2) Upper and lower chamber cooling waters
(6) Gas Lines and MFC (Mass Flow Controllers)
CPU
PCB
SIO
Brake
Gap motor
AC-2 Controller
Control board
Endpoint detector
Load point and shuttle
Chamber heating relay
Heartbeat and mother PCB
Gas panel and interlock
Upper and lower electrodes
BAF Gas distribution plate
Lower chamber ceramic ring
Upper chamber gas line
Manometer (10 Torr)
Throttle valve
He Cooling
Power Supply: 24V, 5V/±15V, 5V/±12V.
LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist eine Produktionsklasse Etch/Asher Ausrüstung für die fortschrittliche Verarbeitung von Substraten und Dünnschichtmaterialien gebaut. Diese dynamische Maschine wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, von Silizium und anderen III-V-Verbindungen bis hin zu Metallen, Keramiken und anderen Dielektrika. Es soll eine Reihe von Prozeßergebnissen in einer sauberen Umgebung wie Ätzen, Dünnschichtabscheidung oder Nassverarbeitung ergeben. Diese fortschrittliche Technologie bietet Flexibilität und Skalierbarkeit für Forschung und Produktion. Rainbow 4400 ist mit einer Reihe von Prozesstechnologien ausgestattet, wie einer Dual-Source-Plasmaquelle zum Ätzen, mehreren Gaszufuhrsystemen für Ätz- und Abscheidungsprozesse sowie Präzisions-Wafer-Handling zur Minimierung der Partikelerzeugung. Dieses System verfügt auch über eine erweiterte Kammer-Evakuierungseinheit, die schnelle Prozessänderungen und verbesserte Prozesswiederholbarkeit ermöglicht. LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist dank seiner ausgeklügelten Ionenstrahl-Bildgebungsfunktionen, die hochauflösende Punktformen, genaue und wiederholbare Dosis-über-Feld und geringe Gesamt-Ionen-Bombardement-Geräusche umfassen, in der Lage, Substratmuster zu entwickeln. Rainbow 4400 verfügt über eine hochmoderne elektronische Steuerungsmaschine und eine umfassende Software-Suite. Dieses Steuerwerkzeug ermöglicht die vollständige Integration in die Prozesskammer, so dass der Bediener mehrere Prozesskammern gleichzeitig verwalten kann. Die Software-Suite ermöglicht es Benutzern, ihre Rezepte anzupassen und bietet erweiterte Datenprotokollierungsfunktionen, um die Prozessoptimierung zu erhöhen. Ein wesentliches Merkmal von LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist seine einzigartige Dual-Source-Plasmaquelle, mit der Benutzer Ätz- und Abscheidungsprozesse gleichzeitig ausführen können. Dieses Verfahren ermöglicht es dem Anwender, eine hohe Prozessflexibilität zu erzielen, indem zeitaufwendige Substrattransfers zwischen Ätz- und Abscheidekammer entfallen. Diese Anlage bietet auch eine Reihe von Substrat-Temperatur-Kontrollfunktionen, die eine präzise Steuerung von Temperaturprofilen für empfindliche Prozesse ermöglichen. Schließlich bietet Rainbow 4400 erweiterte Sicherheitsfunktionen wie automatische Kammerevakuierung, Branderkennung und ESD-Schutz. Dieses Modell bietet einen Industriestandard für Partikelerzeugung und Kammerreinheit, dank seines fortschrittlichen Kammerdesigns, leistungsstarker Filtrationsausrüstung und bordseitiger Sicherheitsverriegelungen. LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist ein wesentliches Werkzeug für fortgeschrittene Ätz- und Abscheidungsprozesse. Sein ausgeklügeltes Design, robuste Steuerungsfunktionen und modernste Sicherheitsfunktionen ermöglichen Rainbow 4400 einen hohen Durchsatz, Wiederholbarkeit und Flexibilität.
Es liegen noch keine Bewertungen vor