Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9030525 zu verkaufen

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ID: 9030525
Wafergröße: 6"
Poly etcher, 6" Cassette to cassette single wafer Classic Clamped with PN 715‐11629‐006 C lower cap electrode 6" installed Optical non‐contact ENI OEM‐650A generator TCU 2080 chiller.
LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist ein Ätz-/Ascherwerkzeug, das den Anforderungen der Halbleiter-Wafer-Fertigungsindustrie gerecht wird. Rainbow 4400 bietet eine breite Palette von Funktionen, die präzise und zuverlässige Ätzprozesse liefern. Das Tool bietet unterschiedliche Ätzraten, um den gesamten Prozessanforderungen gerecht zu werden. Mit dem Werkzeug können Dielektrika, Metalle, Polymere und Oxide präzise geätzt werden. LAM RESEARCH Rainbow 4400 verwendet ein Duschkopfdesign, das eine erhöhte Prozessflexibilität ermöglicht. Das Duschkopfdesign zeichnet sich durch niedrigen Druck und hohe Druckfähigkeit aus, was höhere Ätzraten und eine verbesserte Kantensteuerung ermöglicht. Der Ätzer bietet zudem eine Mehrimpulsätzfunktion, die eine Pulsmodulation der Ätzprozesse ermöglicht und niedrigere Prozesstemperaturen für eine verbesserte Produktqualität ermöglicht. Rainbow 4400 ist mit einem Bordpartikelzähler ausgestattet, der eine Echtzeit-Überwachung von Ätzprozessen und deren Ergebnissen ermöglicht. Der Partikelzähler ist in den Rückkopplungsregelkreis integriert, wodurch höchste Prozessgleichförmigkeit erreicht wird. Darüber hinaus bietet das Tool eine Display-Schnittstelle für visuelle Ergebnisse und kann für eine verbesserte Zugänglichkeit aus der Ferne bedient werden. LAM RESEARCH Rainbow 4400 wurde auch mit Blick auf die Sicherheit entworfen. Das Tool bietet ein vollständig integriertes Sicherheitssystem mit Umwelt-, Prozess- und Software-Sicherheitsfunktionen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um die neuesten Sicherheitsanforderungen zu erfüllen oder zu übertreffen und wurde nach UL- und CE-Standards zertifiziert. Auf diese Weise können die Operatoren die Prozesse des Tools sicher nutzen. Rainbow 4400 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Prozessfähigkeiten bereitzustellen, die präzise und zuverlässig sind. Das Tool bietet hohe Ätzraten, verbesserte Flankensteuerung, Mehrimpulsätzen, integrierte Partikelzähler und Echtzeitüberwachung. Das Tool bietet außerdem ein vollständig integriertes Sicherheitssystem, Zertifizierungen nach UL- und CE-Standards und eine Fernbedienung. LAM RESEARCH Rainbow 4400 bietet eine vielseitige Ätzlösung für die heutige Halbleiter-Wafer-Fertigungsindustrie.
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