Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9226087 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für fortschrittliche IC-Herstellungs- und Verpackungsanwendungen. Rainbow 4400 bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten mit der Fähigkeit, Materialien wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Polyimide, Polysilikate, Polyamine und mehr zu ätzen und zu aschen. Es kombiniert eine Hochdurchsatz-Hochtemperaturplattform mit einem Low-kV-Galliumionenstrahl für präzises anisotropes Ätzen. LAM RESEARCH Rainbow 4400 besteht aus einer Ladeschloss, einer Prozesskammer, einer Ladestation und einem Großrechner. Die Verladung ermöglicht das Be- und Entladen von Substraten in die Prozesskammer, ohne die Kammer drucklos machen zu müssen. Die Prozesskammer wird durch eine Turbo-Molekularpumpe evakuiert, was einen höheren Durchsatz und schnellere Zykluszeiten ermöglicht. Die Laststation hält die Substrate und verfügt über eine Reihe von Aufzügen, mit denen die Substrathöhe während des Ätzens eingestellt wird. Das Mainframe beherbergt die Stromversorgungen, Hochfrequenzgeneratoren und Vakuumgeräte, mit denen die Prozessumgebung erstellt und gewartet wird. Rainbow 4400 ist ein vielseitiges System, das konfiguriert werden kann, um Ätzen, Aschen oder beides in einer Vielzahl von Prozessrezepten durchzuführen. Es kann auch verwendet werden, um hohe Seitenverhältnisse Ätz- und Tiefenprofilierung von Substraten durchzuführen. Das Gerät bietet Platz für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll und kann sowohl für 2D- als auch für 3D-Ätzanwendungen verwendet werden. Es kann auch Temperaturen von bis zu 800 ° C erreichen und kann zum Metallschichtätzen verwendet werden. LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist mit einer erweiterten Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine einfache Installation und Rezept-Parameteroptimierung ermöglicht. Es verfügt auch über Echtzeit-Anzeige aller Maschinenparameter, einschließlich Vakuumniveaus und Pumpendrehzahlen. Seine Ferndiagnose- und Wartungsfunktionen ermöglichen Remote-Service und Support vom LAM RESEARCH Kundenservice-Team. Neben seinen fortschrittlichen Ätzfunktionen bietet Rainbow 4400 auch ein integriertes optisches Steuerungstool. Dieses Asset hilft, den Ätzprozess zu optimieren, indem es Benutzern ermöglicht, das Ätzprofil in Echtzeit zu überwachen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ätzparameter korrekt eingestellt werden, um ein ideales Ergebnis zu erzielen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4400 ein leistungsstarkes Ätz-/Aschermodell mit einer breiten Palette von Fähigkeiten, die es ideal für fortschrittliche IC-Herstellungs- und Verpackungsanwendungen machen. Die Hochtemperatur-Plattform mit hohem Durchsatz ermöglicht ein präzises anisotropes Ätzen, während die fortschrittliche optische Steuerungsausrüstung zur Optimierung des Ätzprozesses beiträgt. Darüber hinaus ermöglicht und pflegt die einfache Einrichtung, Echtzeitanzeige von Systemparametern, Ferndiagnose und Wartungslösungen ein zuverlässiges Prozessergebnis.