Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4400 Ätzer/Ascher ist ein Single-Wafer, Parallel-Plattenätzer/Ascher, der entworfen ist, um eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, einschließlich Silizium, SiGe und anderen Materialien. Rainbow 4400 bietet eine präzise Abgabe von Plasma und reaktiven Gasen an den Wafer mit enger Kontrolle der Konzentrationen und Strömungen sowohl der Plasma- als auch der Gasquellen. Die Prozessausrüstung ermöglicht ein kostengünstiges, fortschrittliches Ätzen von Strukturen einschließlich MOSFETs, MEMS und ICs. LAM RESEARCH Rainbow 4400 ist mit zwei 8-in Wells für zwei separate Plasmaquellen und vier Ports zur unabhängigen Steuerung reaktiver Gase ausgestattet. Es verfügt über eine Stromquelle von bis zu 5 kW, konfigurierbar für die Aufnahme verschiedener Plasmachemie. RF und DC stehen mit einer maximalen Frequenz von 13,56 MHz zur Verfügung. Regenbogen 4400 kann mit einem Vakuumniveau von 5x10-5 Torr angeboten werden. LAM RESEARCH Rainbow 4400 bietet Präzisionskontrolle über das Plasma und ermöglicht konsistente Ätz-/Ascheergebnisse. Es kann vollständig automatisiert oder manuell bedient werden, so dass Flexibilität auf die Bedürfnisse der Kunden zugeschnitten ist. Darüber hinaus ist Rainbow 4400 mit einer patentierten, partikelarmen Aerosol Quartz® Wafer Handling-Komponente mit hohem Durchsatz ausgestattet, um eine wiederholbare Verarbeitung zu gewährleisten. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4400 ein zuverlässiger Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Materialbearbeitungen. Die Ergebnisse sind konsistent und wiederholbar, und der Preispunkt ist wettbewerbsfähig. Seine erweiterte Kontrolle über Ätzparameter ermöglicht eine verbesserte Verarbeitung von MOSFETs, MEMS und ICs. Darüber hinaus reduziert die Aerosol Quarz Wafer Handling Komponente das Risiko von Kontaminationen für komplexe Systeme.
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