Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9176765 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4400B ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die Halbleiterherstellern verbesserte Prozessleistung, Einheitlichkeit und Flexibilität bietet. Das System verfügt über eine leistungsstarke, mehrachsige Plattform sowie eine Vielzahl von konfigurierbaren Modulen und Komponenten, um optimierte Ätz- und Aschelösungen für physikalisch-chemische Verarbeitung, Geräteherstellung, Elektro- und Optoelektronik und MEMS-Anwendungen zu gewährleisten. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B verfügt über mehrere Gassteuerungsoptionen, die eine Echtzeit-Prozesssteuerung mit hoher Präzision ermöglichen. Seine fortschrittlichen Smart Mass Flow Controller (MFCs) sind in der Lage, den Druck, die Durchflussrate und andere Parameter von bis zu acht verschiedenen Gasen in Echtzeit und ohne Beeinträchtigung der Stromversorgung zu regeln und zu überwachen. Dies gewährleistet maximale Prozessflexibilität, Reproduzierbarkeit und insgesamt leistungsstarke Ergebnisse. Die Einheit wird von einer Menschenmaschine-Sensorbildschirmschnittstelle (HMI) mit der fortgeschrittenen Diagnostik und Datenanalysewerkzeugen kontrolliert. Es hat auch eine breite Palette von anpassbaren Prozessrezepten, so dass die Ätz- und Aschemaschine leicht an eine Vielzahl von Halbleiterkonfigurationen angepasst werden kann. Die programmierbaren anspruchsvollen Softwaretreiber führen Berechnungen und Korrekturen durch, um optimierte Ätzergebnisse bei kürzeren Bearbeitungszeiten und höheren Erträgen zu gewährleisten. Rainbow 4400B bietet hochpräzise automatisierte Wafer-Handhabungs- und Transportsysteme, einen On-Board-Prozessmonitor und erweiterte Fehlerdiagnosefunktionen. Sein Selbstkalibrierwerkzeug und mehrere Sicherheitsmerkmale sorgen für optimale Prozesskontrolle, Stabilität und Sicherheit. Das Asset ist in der Lage, bis zu 100 Wafer in einem einzigen Lauf zu verarbeiten und bietet eine optionale Auto-Clean-Funktion, um einwandfreie Geräteherstellungsergebnisse zu gewährleisten. RAINBOW 4400 B bietet eine Vielzahl von Anbauteilen zur Anpassung der Ätz- und Aschekammer an eine spezifische Anwendung, Verfahren oder Anforderung. Es verfügt auch über ein hochgenaues Endpunkterkennungsmodell, das den Ätz- und Ascheprozess mit präziser Genauigkeit und Wiederholbarkeit steuern und überwachen kann. Das fortschrittliche Design und die Konstruktion der Ausrüstung bieten ausgezeichnete Ätz- und Aschemöglichkeit und Leistung bei gleichbleibender Genauigkeit der Ergebnisse.