Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9364650 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4400B
ID: 9364650
Wafergröße: 2"-6"
Plasma etcher, 2"-6".
LAM RESEARCH Rainbow 4400B ist ein zuverlässiger und zuverlässiger Plasmaätzer, der entwickelt wurde, um präzise Plasmaätz- und Ascheprozesse in einer Vielzahl von Branchen durchzuführen. Es ist ein einzelnes Wafer-Werkzeug mit der Fähigkeit, Substrate bei Temperaturen bis zu 850 ° C vorzuverarbeiten und zu ätzen, und verfügt über Größen bis zu 10nm. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B bietet unübertroffene Ätzleistung mit einer Strahllinien-Kathodenausrüstung für überlegene Gleichmäßigkeit und hohe Durchsatzleistung sowie fortschrittliche flexible Rezepte und eine intuitive Benutzeroberfläche. Rainbow 4400B ist mit einer breiten Palette von konfigurierbaren Ätzparametern ausgestattet, die für jeden Prozess abgestimmt werden können, einschließlich Arbeitsgas, Gasdruck, Gasgeschwindigkeit, Pulsbreite, Pulswiederholfrequenz und mehr. Das Tool verfügt auch über einen einzigartigen Plasmasteuerungsalgorithmus, um hohe Ionenenergien und konsistente Ätzraten zu erhalten. Es verfügt auch über ein vollautomatisches Messsystem, das Prozessschwankungen erkennen und anpassen kann, wodurch höchste Verarbeitungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet sind. Neben seiner hohen Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet RAINBOW 4400 B Funktionen zur Maximierung der Betriebszeit der Einheit, darunter eine schnelle und einfache Einrichtung, eine gepflegte Supportmaschine und bequem austauschbare Teile. Es verfügt auch über eingebaute Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines empfindlichen optischen Überwachungswerkzeugs, das die Substratätzqualität und Prozessstabilität ständig überwacht. LAM RESEARCH Rainbow 4400B sorgt auch für Sicherheit durch die Bereitstellung einer programmierbaren Abgasanlage mit unabhängigen Alarmgrenzen für die Gaszusammensetzung und Sicherheitsgrenzwertanpassung. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B ist ein zuverlässiger und zuverlässiger Plasmaätzer, der eine überlegene Ätzleistung, erhöhte Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit sowie die maximale Modellverfügbarkeit bietet - und damit eine ideale Wahl für eine breite Palette von Ätz- und Verarbeitungsanwendungen in verschiedenen Branchen.
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