Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9402503 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4400B
ID: 9402503
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4400B Etcher/Asher ist eine Einwafer-Nassreinigungsanlage für die Halbleiterindustrie. Es ist ein Einstiegsmodell in der LAM RESEARCH Rainbow Serie von Ascheröhren und bietet erstklassige Leistung mit kompakter Stellfläche. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B bietet eine kompakte und kostengünstige Single-Wafer-Plattform mit einer breiten Palette von Prozessmodulen und leicht konfigurierbaren Prozessparametern, die extrem niedrige Fehlerwerte liefern können. Rainbow 4400B ist mit einer Vielzahl von Technologien ausgestattet, wie Hochgeschwindigkeitswafer-Rühren, Sauerstoffätzen und Chlorätzen, fortschreitenden Oxidätzen, anisotropen Metallätzen usw., die eine breite Palette von integrierten Prozessen für eine Vielzahl von Materialien ermöglichen. Dieses System verwendet eine Radialplattenanordnung, die gleichzeitig Wafer beim Ein- und Ausfahren aus Prozessmodulen rührt und eine gleichmäßige Oberflächenbehandlung und Fehlerkontrolle ermöglicht. Das System verfügt auch über ein proprietäres Substratfutter, das hohe Ausbeuten und zuverlässige Leistung gewährleistet. Die unübertroffene integrierte Plattform von RAINBOW 4400 B bietet einen hohen Durchsatz, eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit und einen zuverlässigen Betrieb bei geringen Betriebskosten. Dies ist eine ideale Plattform für die Herstellung von Wafern und andere Produktionsaktivitäten, bei denen überlegene Ertragsleistung, Zuverlässigkeit und Agilität unerlässlich sind. LAM RESEARCH Rainbow 4400B ist ein äußerst zuverlässiges und produktives Werkzeug für anspruchsvolle Anwendungen, die ein Höchstmaß an Produktivität und Ertrag erfordern. Die breite Palette an Prozessfähigkeiten und einfach konfigurierbaren Prozessparametern machen es vielseitig und kostengünstig für eine Reihe von Anwendungen. Es eignet sich zum Naßätzen, Reinigen und Dünnschichtabscheiden sowie zum Resistaschen und anderen Verfahren. Darüber hinaus bieten die erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen und die softwarebasierte Diagnose einfach zu bedienende Prozessrezepte für zukünftige Flexibilität und Skalierbarkeit. Dieses System bietet auch erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen wie die optische Emissionsspektroskopie, so dass prozessbezogene Fehler schnell erkannt und Prozessparameter entsprechend angepasst werden können. Die Flexibilität und Skalierbarkeit von LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B machen es zur idealen Wahl für prozessintensive und Multianwendungsanwendungen.
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