Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595155 zu verkaufen

ID: 293595155
Weinlese: 2010
Etcher 2010 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für Waferbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System bietet überlegene Prozessfähigkeit und ermöglicht eine überlegene Oberflächengüte und Genauigkeit des Ätzprofils. Mit Hilfe seines Bordcomputers kann Rainbow 4420 bis zu 600 Wafer pro Stunde präzise und wiederholbar gleichmäßig verarbeiten. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist mit einem Vollstahlrahmen ausgestattet, der einen hervorragenden Schutz gegen radiale Vibrationen bietet, sowie eine Reihe von Bewegungen, mit denen alle Anlagenparameter präzise kalibriert und angepasst werden können. Dies gewährleistet Präzision und Wiederholbarkeit auch bei der Verarbeitung von Wafern hoher Dichte. Das Design der Zweistrahl-Laserzelle ermöglicht das gleichzeitige Ätzen von zwei Wafern auf einmal, was die Durchsatzeffizienz erhöht und die Kosten senkt. Rainbow 4420 verfügt außerdem über eine fortschrittliche Bewegungssteuerung mit 4-Achsen-Bewegungsfähigkeit und Hochgeschwindigkeitslagern und bietet dem Benutzer eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzprofils. Es verfügt über eine effiziente Auspuffanlage, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten und die Möglichkeit einer Wafer-Kontamination zu beseitigen. Es wird eine integrierte Wartungs-Überwachungsmaschine zur automatischen Erkennung und Warnung des Benutzers auf etwaige Probleme bereitgestellt, so dass rechtzeitig Korrekturmaßnahmen ergriffen werden können. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist auch mit einem branchenführenden Endpunktsteuerungswerkzeug für konsistente und wiederholbare Endpunktgenauigkeit ausgestattet. Dies ermöglicht die schnelle Bestimmung geeigneter Ätzgrenzen nicht nur für Saat- oder Maskenscheiben, sondern für eine Vielzahl von Metallen wie Aluminium, Kupfer und Titan. Ein RAIS (Resonance Acoustic Imaging Model) ist ebenfalls in das Gerät integriert, um jedes Wafer-Werkzeug nach der Verarbeitung vor Ort zu überprüfen und die Prozessgleichförmigkeit zu überprüfen. Das fortschrittliche Laser-Markierungssystem von Rainbow 4420 ermöglicht Wafer-Tracking und ermöglicht eine deutliche Reduzierung von Kosten und Laborzeiten, da keine zusätzlichen externen Identifizierungsschritte erforderlich sind. Schließlich ist das Gerät über Ethernet mit der Fernbedienung verbunden und bietet dem Benutzer eine Reihe von Monitor- und Steuerungsfähigkeiten. Diese Funktionen ermöglichen eine erweiterte Prozessüberwachung, eine spezifische Parameteranpassung sowie eine Ferndiagnose und Datenerfassung zur umfassenden Fehlerbehebung.
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