Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595656 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein High-End-Plasmaätzer/-ascher, der speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es kann zum Ätzen und Reinigen einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Quarz und Metalle verwendet werden. Regenbogen 4420 verfügt über zwei Stickstoffgasstrahlen, einen zum Ätzen und einen zum Aschen sowie einstellbare HF- und DC-Regler, die es Technikern ermöglichen, die für eine bestimmte Anwendung benötigte Ätz- oder Aschemenge genau zu steuern. LAM RESEARCH Rainbow 4420 verfügt auch über eine anspruchsvolle Gaseinspritzausrüstung, die die Injektion spezieller Reaktantgase ermöglicht, um die Ätzgleichförmigkeiten zu verbessern. Regenbogen 4420 verfügt über einen unabhängigen Doppelkammerbetrieb, der eine gleichzeitige oder getrennte Bearbeitung in jeder Kammer ermöglicht. Dadurch wird die Prozessgleichmäßigkeit und Produktivität weiter verbessert. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet auch ein großes Kammervolumen, das eine gleichmäßige Plasmaätzung oder Asche über die gesamte Kammer liefert. Darüber hinaus ermöglicht die Vorwärmemöglichkeit eine Vorwärmung des Systems vor der Bearbeitung, die einheitliche Bearbeitungsbedingungen im gesamten Gerät gewährleistet. Regenbogen 4420 ist in der Lage, sowohl isotrope als auch anisotrope Prozesse durchzuführen. Isotropes Ätzen zeichnet sich durch Richtungsätzen sowohl von der Ober- als auch von der Unterseite des Substrats aus. Dies verbessert die Winkelprofile der Ätzseitenwand und ermöglicht ein Ätzen mit hohem Seitenverhältnis, ohne die Kontrolle über kritische Abmessungen (CD) zu beeinträchtigen. Anisotrope Verfahren weisen ein Richtätzen von einer Seite des Substrats auf, das hochwinklige, abgewinkelte Wandprofile zusammen mit einer verbesserten CD-Steuerung erzeugt. LAM RESEARCH Rainbow 4420 verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Steuerungs- und Überwachungsfunktionen. Techniker können den Ätz- oder Ascheprozess in Echtzeit überwachen und anpassen. Es gibt eine zusätzliche Datenerfassungsfunktion, mit der Benutzer die Parameter des Prozesses über einen Zeitraum speichern und überprüfen können. Diese Daten können dann verwendet werden, um den Prozess zu optimieren und die Variabilität zu verringern. Kurz gesagt, Rainbow 4420 ist eine anspruchsvolle und hochpräzise Plasmaätz-/Aschermaschine, mit der eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Quarz und Metalle geätzt werden können. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist mit einer Reihe modernster Funktionen ausgestattet, um sicherzustellen, dass jeder Prozess reibungslos und effizient abläuft. Es bietet auch erweiterte Steuerungs- und Überwachungsfunktionen, um Genauigkeit und Konsistenz in jeder Charge zu gewährleisten.