Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 293609830
Wafergröße: 6"
Etcher, 6" (8) MFC Cassette type: Open cassette, 6"(Standard) LCD Remotte monitor Chamber: Part number / Description 718-092326-061 / ESC 716-028249-064 / Focus ring 716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic 715-011531-015 / Upper electrode 716-011570-001 / Orifice filler, ceramic 715-011753-001 / Upper baffle 715-011913-080 / Lower baffle 716-011009-001 / View window 715-011535-001 / Cathode clamp ring 715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type 715-028532-002 / Ring colling electrostaic 853-540066-005 / Endpoint dection 853-025054-002 / ESC power supply 796-092338-005 / MKS Chamber manometer 797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm 853-031764-002 / Lift pin cylinder 796-006238-001 / Throttle valve controller 853-013541-002 / Assy throttle valve RF Generator: ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003 Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002 PCB / DIP, part number: 810-017003-004 RF Power cord, 60 feet RF Cable, 65 feet TCU Signal cable,60 feet TCU Channel to interconnect, 60 feet Transfer: GAP calibration tool Transfer calibration tool Part number / Description 853-012123-001 / Robot (ELL and XLL) 853-012601-001 / Load index assy 853-012600-102 / Unload index assy 853-012200-002 / Inner door 853-012200-002 / Outer door 605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive 853-029462-001 / XLL Wafer sensor VME PCB: Part number / Description 810-017034-005 / Assy PCB VME 68030 810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO 810-017038-002 / SIO PCB 810-017388-003 / Ethernet address PCB Gases: CL2 500 SCCM SF6 200 SCCM C2F6 200 SCCM HE 500 SCCM HBR 100 SCCM HE 50 SCCM CHF3 20 SCCM O2 10 SCCM Power supply: Part number / Description 660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V 660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V Manuals included.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, der hauptsächlich für die Herstellung von Halbleitern und Geräten verwendet wird. Rainbow 4420 ist eine vollautomatische, hochleistungsfähige Trockenätz-/Aschemaschine. Es ist in der Lage, überlegene Ätz- und Aschequalität mit hohem Durchsatz zu liefern, was es ideal für die fortschrittliche Geräteherstellung macht. LAM RESEARCH Rainbow 4420 System bietet ultraschnelles Ätzen und Aschen, um hervorragende Ergebnisse zu liefern. Das Gerät ist modular aufgebaut und verwendet eine Vollsortimenter-Gasfördermaschine, die eine Vielzahl von Prozesskonfigurationen ermöglicht. Es verfügt über eine fortschrittliche HF-Stromversorgung für präzises und konsistentes Ätzen, auch für die anspruchsvollsten Substrate. Rainbow 4420 bietet auch verbesserte Ätzfähigkeit mit seinen fortschrittlichen Prozesskontrollwerkzeugen, die genaue und wiederholbare Parameter bieten. Um maximale Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten, verwendet das LAM RESEARCH Rainbow 4420 Tool verschiedene Ebenen von Hardware- und Softwaresteuerungssystemen. Dazu gehören eine ausgeklügelte Steuerungssoftware, eine Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung und ein fortschrittliches Prozessmodell. Das Steuergerät bietet eine präzise Kontrolle über Ätzraten, Rezepte, Rezepte, Parameter und sogar das Timing von Prozessen. Das Datenerfassungssystem ermöglicht dann eine Echtzeitüberwachung von Ätzrate und Prozessvariation. Darüber hinaus bietet Rainbow 4420 eine Reihe fortschrittlicher Prozesssteuerungs- und Optimierungstools, wie die mehrstufige Ätzsequenzierung und die Cross-Wafer-Synchronisation. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu unterstützen, einschließlich Silizium, SiO₂ und III-V-Verbindungen, sowie eine Vielzahl von verschiedenen Schichten und Substraten. Dies macht es für eine breite Palette von verschiedenen Arten von Geräten geeignet. Schließlich ist die Maschine LAM RESEARCH Rainbow 4420 so konzipiert, dass sie eine einfache und wirtschaftliche Möglichkeit bietet, die Ätz- und Ascheleistung auf Produktionsniveau sowohl in einer einzigen als auch in einer Mehrstationenkonfiguration zu erreichen. Das Tool ist vollständig konfigurierbar und ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse. Mit seiner überlegenen Ätzqualität und seinem hohen Durchsatz ist es die perfekte Wahl für die fortschrittliche Geräteherstellung.
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