Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293609830
Wafergröße: 6"
Etcher, 6"
(8) MFC
Cassette type: Open cassette, 6"(Standard)
LCD Remotte monitor
Chamber:
Part number / Description
718-092326-061 / ESC
716-028249-064 / Focus ring
716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic
715-011531-015 / Upper electrode
716-011570-001 / Orifice filler, ceramic
715-011753-001 / Upper baffle
715-011913-080 / Lower baffle
716-011009-001 / View window
715-011535-001 / Cathode clamp ring
715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type
715-028532-002 / Ring colling electrostaic
853-540066-005 / Endpoint dection
853-025054-002 / ESC power supply
796-092338-005 / MKS Chamber manometer
797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm
853-031764-002 / Lift pin cylinder
796-006238-001 / Throttle valve controller
853-013541-002 / Assy throttle valve
RF Generator:
ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003
Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002
PCB / DIP, part number: 810-017003-004
RF Power cord, 60 feet
RF Cable, 65 feet
TCU Signal cable,60 feet
TCU Channel to interconnect, 60 feet
Transfer:
GAP calibration tool
Transfer calibration tool
Part number / Description
853-012123-001 / Robot (ELL and XLL)
853-012601-001 / Load index assy
853-012600-102 / Unload index assy
853-012200-002 / Inner door
853-012200-002 / Outer door
605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive
853-029462-001 / XLL Wafer sensor
VME PCB:
Part number / Description
810-017034-005 / Assy PCB VME 68030
810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO
810-017038-002 / SIO PCB
810-017388-003 / Ethernet address PCB
Gases:
CL2 500 SCCM
SF6 200 SCCM
C2F6 200 SCCM
HE 500 SCCM
HBR 100 SCCM
HE 50 SCCM
CHF3 20 SCCM
O2 10 SCCM
Power supply:
Part number / Description
660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V
660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V
Manuals included.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, der hauptsächlich für die Herstellung von Halbleitern und Geräten verwendet wird. Rainbow 4420 ist eine vollautomatische, hochleistungsfähige Trockenätz-/Aschemaschine. Es ist in der Lage, überlegene Ätz- und Aschequalität mit hohem Durchsatz zu liefern, was es ideal für die fortschrittliche Geräteherstellung macht. LAM RESEARCH Rainbow 4420 System bietet ultraschnelles Ätzen und Aschen, um hervorragende Ergebnisse zu liefern. Das Gerät ist modular aufgebaut und verwendet eine Vollsortimenter-Gasfördermaschine, die eine Vielzahl von Prozesskonfigurationen ermöglicht. Es verfügt über eine fortschrittliche HF-Stromversorgung für präzises und konsistentes Ätzen, auch für die anspruchsvollsten Substrate. Rainbow 4420 bietet auch verbesserte Ätzfähigkeit mit seinen fortschrittlichen Prozesskontrollwerkzeugen, die genaue und wiederholbare Parameter bieten. Um maximale Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten, verwendet das LAM RESEARCH Rainbow 4420 Tool verschiedene Ebenen von Hardware- und Softwaresteuerungssystemen. Dazu gehören eine ausgeklügelte Steuerungssoftware, eine Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung und ein fortschrittliches Prozessmodell. Das Steuergerät bietet eine präzise Kontrolle über Ätzraten, Rezepte, Rezepte, Parameter und sogar das Timing von Prozessen. Das Datenerfassungssystem ermöglicht dann eine Echtzeitüberwachung von Ätzrate und Prozessvariation. Darüber hinaus bietet Rainbow 4420 eine Reihe fortschrittlicher Prozesssteuerungs- und Optimierungstools, wie die mehrstufige Ätzsequenzierung und die Cross-Wafer-Synchronisation. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu unterstützen, einschließlich Silizium, SiO₂ und III-V-Verbindungen, sowie eine Vielzahl von verschiedenen Schichten und Substraten. Dies macht es für eine breite Palette von verschiedenen Arten von Geräten geeignet. Schließlich ist die Maschine LAM RESEARCH Rainbow 4420 so konzipiert, dass sie eine einfache und wirtschaftliche Möglichkeit bietet, die Ätz- und Ascheleistung auf Produktionsniveau sowohl in einer einzigen als auch in einer Mehrstationenkonfiguration zu erreichen. Das Tool ist vollständig konfigurierbar und ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse. Mit seiner überlegenen Ätzqualität und seinem hohen Durchsatz ist es die perfekte Wahl für die fortschrittliche Geräteherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor