Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer/Ascher ist eine hochentwickelte, vollautomatisierte Ätz- und Ascheausrüstung, die für die schnelle, hochpräzise Produktion von Mikrostrukturen mit integrierter Schaltung (IC) entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um den Prozess des Ätzens und Aschens komplexer Mikromerkmale mit hervorragender Abtragsrate (MRR), Oberflächenrauhigkeit (Ra) und Schwellenspannung (Vth) Regelgenauigkeit zu optimieren. Rainbow 4420 ist mit einem 4-achsigen SCARA-Roboter ausgestattet, der eine maximale Gesamtwirkung des Prozesses ermöglicht und vielfältige Anwendungsanforderungen erfüllt. Das Gerät verfügt außerdem über eine hochpräzise Bewegungssteuerungsmaschine, die die Roboterfunktion verwaltet und eine hervorragende Ätz- und Ascheuniformität ermöglicht. Darüber hinaus ist das Tool mit LAM RESEARCH Automated Intelligent Process Control (IPC) -Software ausgestattet, die eine leistungsstarke, automatisierte Prozesssteuerung und kontinuierliche Überwachung bietet, um die Produktqualität zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist mit fortschrittlichen Ätz- und Aschesteuerungsfunktionen wie Druck, Geschwindigkeit, Temperatur und Prozessgasmanipulationsmöglichkeiten für eine verbesserte Prozesssteuerung gebaut. Dies beinhaltet die Möglichkeit, Hochtemperatur-Prozeßgastemperaturen (über 550 ° C) und hohe Ätzraten (> 5.000 Å/min) für ultratiefe Mikron-Merkmalsdefinitionen zu steuern. Seine Vollwafer-Prozesszone kann bis zu einem 12-Zoll-Taschendurchmesser ätzen oder aschen und unterstützt bis zu acht Ätztaschen in einem einzigen Modul. Zusätzlich zu seinen erweiterten Funktionen ist Rainbow 4420 Asset kostengünstig und einfach zu warten. Das integrierte Nassreinigungsmodell schont den chemischen Verbrauch, reduziert Abfälle und steigert die Produktivität. Die intuitive LCD-Touchscreen-Oberfläche vereinfacht die Benutzerinteraktion und bietet einfachen Zugriff auf chemische Wartung und Fehlermeldungen, was bedeutet, dass Benutzer in der Wartung ihrer Maschine informiert und aktiv sind. LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer/Ascher ist die ideale Ausrüstung für IC-Prozessingenieure, die die Ätz- und Ascheleistung maximieren und gleichzeitig die Kosten für die Wartung von Chemikalien und Werkzeugen minimieren möchten. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung und der hohen Präzision von Ätz- und Ascheeinheitlichkeit ist Rainbow 4420 ein Must-Have-System für jede Chip-Produktionsumgebung.