Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9180738 zu verkaufen

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ID: 9180738
Wafergröße: 6"-8"
Poly etcher, 6"-8" ESC Chuck Remote RF cart AC Box.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine präzise anisotrope Ätzung in Trocken- und Nassätzanwendungen ermöglicht. Dieses Gerät eignet sich hervorragend für 3D-Strukturen, unterschiedliche Dotierungsstufen und die präzise Herstellung kritischer Strukturen. Rainbow 4420 ist ein induktiv gekoppelter Plasmaätzer (ICP), der eine präzise Steuerung der Ätzparameter und der Kammerumgebung für verbesserte Verarbeitungsergebnisse ermöglicht. Es verfügt über eine hochmoderne ICP-Quelle, die in der Lage ist, eine breite Palette von Plasmadichten und Leistung für unterschiedliche Verarbeitungsanforderungen zu erzeugen. Dieses System ist hochpräzise und zuverlässig und gewährleistet Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit in kritischen Fertigungsprozessen. LAM RESEARCH Rainbow 4420 kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich polykristalliner Silizium-Gate-Ätzung, Metallisierung und Kontaktätzung, anisotropes Ätzen von Eigenschaften mit hohem Seitenverhältnis sowie Anodisierungs- und Metallätzverfahren. Es ist in der Lage, Muster mit feiner Auflösung, geringer Funktionsgröße und hervorragender Präzision zu ätzen. Es ist auch kompatibel mit normalen und fortschrittlichen Materialien, einschließlich Si, SiGe und sogar III-V-Verbindungen. Rainbow 4420 bietet eine effiziente HF-Stromversorgung und verbesserte Prozesskontrollergebnisse und sorgt für überlegene Ätzprofile. Mit seiner vollständig geschlossenen, wartungsfreien Konstruktion ist dieses Gerät in der Lage, ohne Unterbrechung über einen längeren Zeitraum zu arbeiten. Diese Maschine zeichnet sich auch durch geringe Verbrauchskosten und minimale Verschmutzungen aus, was zu weniger Materialabfall und verbesserter Prozessökonomie führt. Alle in LAM RESEARCH Rainbow 4420 durchgeführten Ätzprozesse können über die intuitive Benutzeroberfläche überwacht und gesteuert werden. Dieses Tool ist mit robusten Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet, mit denen Bediener Prozesse einfach in Echtzeit einrichten, überwachen und steuern können. Eine erweiterte Datenerfassung ermöglicht es Benutzern, Ergebnisse schnell zu analysieren, während intelligente Diagnose- und Sicherheitsfunktionen maximale Sicherheit und Zuverlässigkeit gewährleisten. Rainbow 4420 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell auf die Anforderungen der anspruchsvollsten heutigen Fertigungs- und Verarbeitungsanwendungen zugeschnitten ist. Seine leistungsstarken und wartungsarmen Funktionen machen es zu einer perfekten Wahl für kritische Prozesse, die überlegene Ätzergebnisse erfordern.
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