Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9184687 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9184687
Poly etcher, 8"
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I interface
Cassette interface: (2) Hine 38F indexers
Electrostatic chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm/520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
On-board RF Generators: No
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Remote RF cart: No
ATM Passivation module: No
Plasma LLK (PLL): No
High conductance manifold: No
Gas box:
Remote gas box: No
Orbitally welded GB: Yes
Backside cooling MFC: Unit 1250A
Gases:
#1: N2, 200 sccm, unit 1200A
#2: CHF3, 50 sccm, unit 1200A
#3: N2, 300 sccm, aera
#4: N2, 500 sccm, unit UFC 1660
#5: CF4,150 sccm, unit 1200A
#6: SF6,150 sccm, unit 1200A
#7: He, 1 slm, Unit UFC 1660
#8: O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pumps:
Heated pumping manifolds: No
Pump controller: iQ Series
Entrance / Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
Chillers: (2) SMC HRS018-WN-20-M
On-board AC distribution type: Fused
Power requirements: 208VAC, 3-Phase, 5-Wire
1993 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, der für zuverlässige, kostengünstige und ertragsstarke Photolithographieverfahren in einer Vielzahl von korrosiven Anwendungen entwickelt wurde. Diese leistungsstarke Ausrüstung bietet eine optimale Mischung aus hoher Auflösung, großflächiger Verarbeitung und minimaler Verschmutzung. Regenbogen 4420 verfügt über eine 30 cm x 45 cm (12 „x 18“) Bearbeitungsfläche für eine optimale Flächenabdeckung. Es ist aus hochkorrosionsbeständigem Edelstahl gefertigt und kann effizient bis zu 6 Prozessbäder aufnehmen, was eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Das System ist in der Lage, die verschiedensten verfügbaren Materialien zu verarbeiten und beinhaltet sogar eine integrierte Suszeptor-Aufzugeinheit, die bis zu 2,5 cm (1 ") Suszeptor-Bewegung aufnehmen kann. Darüber hinaus sorgen die einzigartig gestalteten Abfallverwertungssysteme dafür, dass Ätzrückstände sicher vom Verarbeitungsbereich ferngehalten werden, um die Umweltbelastung zu reduzieren. In Bezug auf den Betrieb ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 speziell für den Betrieb in Niedertemperaturvakuum- oder Niederdruckumgebungen konzipiert, die einen effizienten, sicheren und zuverlässigen Betrieb gewährleisten. Die einzigartigen Suszeptor-Aufzüge und balgdichten Fensteranschlüsse sorgen für die notwendige Drucksteuerung für das Be- und Entladen des Substrats. Darüber hinaus arbeiten die eingebauten partikelfreien Spülsysteme und die einfache Schalttechnologie zusammen, um die im Ätzprozess verwendeten ultrahochreinen Gasströme zu steuern. Darüber hinaus verfügt Rainbow 4420 über eine interaktive Benutzeroberfläche, die für eine einfache Steuerung und Überwachung ausgelegt ist. Die Maschine nutzt auch eingebettete intelligente Diagnostik zur kontinuierlichen Prozessoptimierung. Alles in allem ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer/Ascher eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für hochpräzise und ertragsstarke Photolithographie. Es bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlicher Ätztechnologie und effizienten Abfallverwertungssystemen, die die Umweltbelastung verringern.
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