Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9195092
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Poly / Nitride etcher, 6"
Software: Classic
Chuck: Clamp
Loader type: Hine indexer
ENT Shuttle
Aligner
Includes:
Chamber ceramics
Onboard RF Generator
Remote
Cable harness
Automatic fuses
(8) Gas valve inputs: He, Cl2, O2, HBr, Cl2, SF6, O2, CF4
Does not include chiller
1997 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher ist ein fortschrittliches Fertigungsgerät, das entwickelt wurde, um dünne Filme zu ätzen und zu aschen. Sie besteht aus einer Prozesskammer, einer Steuereinheit und einer Resistkammer. Die Prozesskammer besteht aus Polyvinyl Chorephtalat (PVC) und enthält zwei elektrostatische Pads und eine Plasmaenergiequelle. Die elektrostatischen Pads sind für die Aufrechterhaltung der Folie unter gleichmäßigen und stabilen Bedingungen beim Ätzen/Aschen verantwortlich. Die Plasmaenergiequelle dient zum Ätzen und Aschen der dünnen Filme. Die Steuereinheit wird über eine GUI gesteuert und sorgt für die Kommunikation zwischen Maschine und Bediener. Mit der Reglereinheit können Temperatur- und Druckeinstellungen eingestellt werden, um den Ätz-/Ascheprozess zu optimieren und den Betrieb zu optimieren. Rainbow 4420 verwendet reaktive Ionenätz- und ionengestützte Aschetechniken, um extrem dünne Filme zu ätzen und zu aschen. Die dünnen Filme werden dem reaktiven Plasma ausgesetzt, was die Dissoziation von Materialbindungen und das Ätzen oder Aschen des dünnen Films ermöglicht. Das reaktive Plasma wird durch das am Ende des Stromversorgungssystems befindliche Plasmawerkzeug erzeugt. Die Kammer arbeitet bei niedrigen Drücken und hohen Temperaturen und ermöglicht hohe Raten des Dünnschichtätzens und Aschens mit Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist hocheffizient, da es sowohl Ätz- als auch Ascheoperationen in einer Prozesskammer durchführen kann. Es ist auch mit einem Temperaturregelsystem und einem Prozesskammerkühlsystem ausgestattet, die es ermöglichen, eine hochpräzise Verarbeitung mit reproduzierbaren Ergebnissen zu erzielen. Darüber hinaus wurde Rainbow 4420 entwickelt, um die Betriebskosten zu senken und den Durchsatz zu erhöhen. Mit seinem hochpräzisen Betrieb ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 ein ideales Werkzeug zum Ätzen und Aschen von dünnen Folien.
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