Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226088 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine zur Halbleiterherstellung. Es ist für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse optimiert, von flach bis tief ätzend. Das System eignet sich gut für Plasmaätzverfahren, reaktives Ionenätzen/DEB, Metall/Samenätzverfahren und Aschen von Photoresistprozessen. Es bietet eine wiederholbare Prozessfunktion mit Gleichmäßigkeit und engen Endpunkten, die manuellen Prozessen überlegen ist. Das Gerät verwendet eine hochpräzise vertikale Quelle, so dass der Benutzer ein Ätz-/Ascheprofil ohne Überätzen oder Unterschneiden kritischer Formelementgrößen erstellen kann. Der Mehrfachwellenformgenerator von Rainbow 4420 ermöglicht die Erzeugung mehrerer Wellenformen für jedes Level/Lot. Dies ermöglicht die Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit über mehrere Bandläufe. LAM RESEARCH Rainbow 4420 kann DC, RF und Impulswellenformen ausgeben. Es ist auch mit einem Quarz Einzelbreite Modul ausgestattet, die gleichzeitige Lieferung von Quarz auf alle ebenen Substrate, wodurch die Gleichmäßigkeit über den Wafer. Es ist auch mit einem 1kW High Energy Peak Puls und anderen Funktionen ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätztiefe, des Profils und der Gleichmäßigkeit über alle Ebenen hinweg ermöglichen. Die Maschine verfügt über ein RF-Leistungsüberwachungswerkzeug, das die Prozess- und Geräteleistung steuert und optimiert und dabei die präzisesten Ätzparameter beibehält. Das Asset ist zudem mit einem ElitePA RF Eyebrow Detektor ausgestattet, der eine automatisierte Prozessrezeptvalidierung ermöglicht. Das Modell ist mit einer „Wait for Etch“ -Funktion ausgestattet, die keine Ätzprobleme beseitigt, die durch DC-Energie (Bias oder Plasma) und Überätzen verursacht werden. Ein separater 'Job File Manager' und ein 'Log File Manager' behalten die Ätzparameter für jedes Los und sorgen dafür, dass bei jedem Ätzauftrag alle wichtigen Informationen erfasst werden. Die Ausrüstung ermöglicht den Einsatz von standardmäßiger, wiederverwendbarer Hardware und prozessqualifizierten Verbrauchsmaterialien, um die Genauigkeit zu maximieren und Kosten zu senken. Rainbow 4420 ist mit ISO 9001 zertifizierten IC-Herstellungsprozessen kompatibel und entspricht den Anforderungen der Halbleiterindustrie. In Kombination mit den fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Anwendermanagementsystemen bietet LAM RESEARCH Rainbow 4420 eine hervorragende Produktausbeute, ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit und Lebensfähigkeit. Das System ermöglicht es Anwendern, Prozessparameter einfach nach ihren spezifischen Anforderungen zu optimieren und bietet die Flexibilität und Produktivität, die für die Serienproduktion erforderlich sind.