Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 zu verkaufen

ID: 9226295
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1990
Etcher, 5" Wafer type: Major flat Clamp Temperature control unit: CS15W Chiller Hardware: Cassette indexer: Hine indexer 38A Process kits Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr RF Rack: ENI OEM-650A XL RF Matcher Helium cool system EDP (8) MFC Gases: HE / 500 SCCM / FC-770AC CL2 / 200 SCCM / FC-780C HBR / 200 SCCM / FC-780C CF4 / 200 SCCM / FC-770AC SF6 / 200 SCCM / FC-770AC CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC O2 / 10 SCCM / FC-770AC O2 / 200 SCCM / FC-770AC Vacuum system: Loadlock: EDWARDS QDP80 P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250 Signal tower AC Power rack 1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher, der für das Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine effiziente Vakuumkammer, hohen Durchsatz und erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Rainbow 4420 ist eine einfach zu bedienende Ausrüstung mit einem kleineren Platzbedarf, einer robusten Konstruktion und einer benutzerfreundlichen Oberfläche. Sein Vakuummechanismus erreicht den Industriestandard von 1 Torr. Seine Verdampfungsquellen sind so ausgelegt, dass sie eine erhöhte Temperatur erreichen und hohe Durchsätze bei niedrigem Widerstand des Substrats liefern. Die Kammer wird von unten nach oben durch einen oben am Gerät angeordneten Temperaturregler auf einer konstanten Temperatur gehalten. Neben seiner Effizienz und Funktionalität verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4420 über ein leistungsstarkes Prozessüberwachungs- und Steuerungssystem. Diese Einheit ist in der Lage, Echtzeitinformationen während der Verarbeitung bereitzustellen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse und reproduzierbare Prozesse zu gewährleisten. Regenbogen 4420 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmechanismen ausgestattet, um die Maschine und Benutzer zu schützen, und enthält Werkzeuge, um elektrostatische Entladungen zu verhindern. Dieses Werkzeug ist auch beständig gegen extreme Temperaturen und korrosive Gase und bietet Zuverlässigkeit und Langlebigkeit. LAM RESEARCH Rainbow 4420 kann zum Trockenätzen und Abscheiden, zur Atomschichtabscheidung (ALD) und zur chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet werden. Es bietet eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und anderer Parameter während des gesamten Ätzprozesses. Die Kammern sind auch in der Lage, Substrate bis zu 8 "und höher zu handhaben. Schließlich ist Rainbow 4420 eine vielseitige und zuverlässige Maschine für genaue und reproduzierbare Ätz- und Ascheprozesse. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, präzise Steuerung und Sicherheitsvorteile machen die Maschine zu einer idealen Wahl für die industrielle und wissenschaftliche Gemeinschaft.
Es liegen noch keine Bewertungen vor