Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 zu verkaufen
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ID: 9226295
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1990
Etcher, 5"
Wafer type: Major flat
Clamp
Temperature control unit: CS15W Chiller
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A XL
RF Matcher
Helium cool system
EDP
(8) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
O2 / 10 SCCM / FC-770AC
O2 / 200 SCCM / FC-770AC
Vacuum system:
Loadlock: EDWARDS QDP80
P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250
Signal tower
AC Power rack
1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher, der für das Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine effiziente Vakuumkammer, hohen Durchsatz und erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Rainbow 4420 ist eine einfach zu bedienende Ausrüstung mit einem kleineren Platzbedarf, einer robusten Konstruktion und einer benutzerfreundlichen Oberfläche. Sein Vakuummechanismus erreicht den Industriestandard von 1 Torr. Seine Verdampfungsquellen sind so ausgelegt, dass sie eine erhöhte Temperatur erreichen und hohe Durchsätze bei niedrigem Widerstand des Substrats liefern. Die Kammer wird von unten nach oben durch einen oben am Gerät angeordneten Temperaturregler auf einer konstanten Temperatur gehalten. Neben seiner Effizienz und Funktionalität verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4420 über ein leistungsstarkes Prozessüberwachungs- und Steuerungssystem. Diese Einheit ist in der Lage, Echtzeitinformationen während der Verarbeitung bereitzustellen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse und reproduzierbare Prozesse zu gewährleisten. Regenbogen 4420 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmechanismen ausgestattet, um die Maschine und Benutzer zu schützen, und enthält Werkzeuge, um elektrostatische Entladungen zu verhindern. Dieses Werkzeug ist auch beständig gegen extreme Temperaturen und korrosive Gase und bietet Zuverlässigkeit und Langlebigkeit. LAM RESEARCH Rainbow 4420 kann zum Trockenätzen und Abscheiden, zur Atomschichtabscheidung (ALD) und zur chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet werden. Es bietet eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und anderer Parameter während des gesamten Ätzprozesses. Die Kammern sind auch in der Lage, Substrate bis zu 8 "und höher zu handhaben. Schließlich ist Rainbow 4420 eine vielseitige und zuverlässige Maschine für genaue und reproduzierbare Ätz- und Ascheprozesse. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, präzise Steuerung und Sicherheitsvorteile machen die Maschine zu einer idealen Wahl für die industrielle und wissenschaftliche Gemeinschaft.
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