Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186 zu verkaufen

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ID: 9242186
Wafergröße: 8"
Polysilicon etchers, 8" Stand alone SECS Interface Rainbow mainframe Integrated SMIF Orbitally welded gas box Backside helium cooler Helium cooling MFC type: UPC-8130 Remote RF cart LAM 851-180089-111 Remote RF cart LAM P/N: 851-014680-583-F-GEN Remote RF cart 853-025903-002-A-262C RF Match type Main on-board AC distribution type: Fused Remote AC box Etch chamber Clamp ENI OEM-650A RF Generator EDWARDS IQDP80 Loadlock pump EDWARDS IQDP80 / QMB250 Etch chamber pump (2) LAM 2080 TCU Chillers LAM 852-110198-001-C-6882 Gas box configuration: Gas line / Gas / Flow (sccm) / MFC / Model PM1-1 / HE / 500 / Unit / 1660 PM1-2 / AR / 500 / Unit / 1660 PM1-3 / O2 / 50 / Unit / 1660 PM1-4 / C2F6 / 500 / Unit / 1660 PM1-5 / SF6 / 500 / Unit / 1660 PM1-6 / HBr / 200 / Unit / 1660 PM1-7 / CL2 / 500 / Unit / 1660 PM1-8 / NF3 / 0 / Unit / 1660 Power supply: 208 V, 3-Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätz-/Ascheprozesswerkzeug, das für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Das Tool basiert auf der Plattform der Rainbow-Familie, die hochgradig konfigurierbar und skalierbar ist, um die Anforderungen der sich ständig entwickelnden Anforderungen an die Geräteherstellung zu erfüllen. Rainbow 4420 bietet den höchsten Durchsatz und niedrigste Betriebskosten der Rainbow-Familie und ist damit eine ideale Lösung für viele Anwendungen auf Wafer-Ebene mit hohem Volumen. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet eine Reihe von Prozessfähigkeiten, einschließlich Etch/Asche, Streifen und doppelseitiges Ätzen. Es unterstützt mehrere Prozesskammern und eine breite Palette von Substraten und Kathoden, die eine flexible und präzise Verarbeitung ermöglichen. Die integrierte CHA-Technologie ermöglicht sehr ertragreiche Ergebnisse, während ihre 3D-Korrekturfähigkeit die Ungleichmäßigkeit reduziert und die Rezepturleistung verbessert. Rainbow 4420 verfügt auch über programmierbare Wafer Platzierung Steuerung, die präzise Wafer Bewegung Steuerung während der gesamten Rezeptur. Das Tool verfügt über eine erweiterte Prozesssteuerung und -überwachung, die eine präzise Endpunkterkennung und -einstellung auch in den anspruchsvollsten Anwendungen ermöglicht. Kernmodul des Tools ist der Super Fab Controller, der bis zu 8 Prozesskammern gleichzeitig verwalten kann, sowie seine fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Überwachungssysteme. Der Super Fab bietet zudem ein integriertes Kalibriersystem, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist für die schnelle und kostengünstige Herstellung von Geräteschichten konzipiert. Es ist voll konform mit SEMI SECS/GEM-Standards und hat 99,9% Verfügbarkeit. Das Werkzeug hat auch eine breite Palette von Optionen für zusätzliches Zubehör, einschließlich Power-Loads, Dummy-Wafer und Sputter-Modul. Es ist auch mit der YieldFlex Software-Suite kompatibel und bietet eine Reihe von Ertragsoptimierungsoptionen. Rainbow 4420 ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug, das überlegene Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Mit seiner ausgezeichneten Flexibilität und Zuverlässigkeit ist dieses Werkzeug ideal für viele Anwendungen in der Geräteherstellung.
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