Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9262992 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9262992
Wafergröße: 8"
Plasma etcher, 8"
Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I Interface
Cassette interface: (2) HINE 38F indexers Electrostatic Chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm / 520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Gas Box:
Orbitally welded GB
Backside cooling MFC: 1250A
No remote gas box
Gases:
N2, 200 sccm, unit 1200A
CHF3, 50 sccm, unit 1200A
N2, 300 sccm, area
N2, 500 sccm, unit UFC 1660
CF4, 150 sccm, unit 1200A
SF6, 150 sccm, unit 1200A
He, 1 slm, unit UFC 1660
O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pump:
Pump controller: iQ Series entrance
Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
(2) SMC HRS018-WN-20-M Chillers
On-board AC Distribution type: Fused
No heated pumping manifolds
No high conductance Manifold
No ATM passivation module
No remote RF cart
No on-board RF generator
Chiller and RF included
Does not include vacuum pump
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5-Wire.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer/Ascher ist ein leistungsstarkes Präzisionsinstrument, das entworfen wurde, um Erosion zu reduzieren, zu modifizieren und komplizierte Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erstellen. Rainbow 4420 ist ein sehr vielseitiger Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien wie Quarz, Silizium, Galliumarsenid und andere Halbleitermaterialien zu verarbeiten. LAM RESEARCH Rainbow 4420 nutzt fortschrittliche Techniken und Technologien wie Laserablation, ionenstrahlunterstütztes Ätzen, reaktives Ionenätzen und chemische Dampfabscheidung, um anspruchsvolle Ergebnisse zu erzielen. Mit einer breiten Palette anwendungsspezifischer Verarbeitungsfunktionen und Funktionen wurde Rainbow 4420 entwickelt, um die spezifischen Prozessanforderungen einer Vielzahl von Elektronik- und Halbleiteranwendungen zu erfüllen, einschließlich der Bildung ultradünner Schichten aus elektrisch leitendem Material. Mit diesen fortschrittlichen Funktionen und dem Ruf nach Zuverlässigkeit und Effizienz ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 eine erstklassige Lösung für das Ätzen und Auswerten von Anforderungen, die eine extrem feine Funktionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. Rainbow 4420 bietet eine beeindruckende Kombination aus Leistung und Flexibilität. Der modulare Aufbau sorgt dafür, dass die Konfigurierbarkeit optimal auf jede Anwendung zugeschnitten werden kann und die offene Plattformarchitektur ermöglicht den schnellen Austausch und die Optimierung lokaler Parameter. Ausgestattet mit einem leistungsstarken konfigurierbaren Waferanalysesystem ermöglicht LAM RESEARCH Rainbow 4420 präzise Messungen und Analyse der Qualität der Ätz- und Ascheergebnisse in Echtzeit. Rainbow 4420 verfügt über eine sehr zuverlässige mechanische Einheit und eine vielseitige Palette von Vakuumkammeroptionen für verschiedene Prozesse, einschließlich Batch, Singlewafer und Inline-Verarbeitung. Um Prozessstabilität zu gewährleisten und die Quellen der maschinenbedingten Ungleichförmigkeit zu reduzieren, verwendet LAM RESEARCH Rainbow 4420 fortschrittliche Kontroll- und Temperaturmanagementsysteme. Das Tool kann auch mit einem automatischen Kalibrierungsprogramm geliefert werden, um eine optimale Asset-Abstimmung und Leistung zu gewährleisten. Das Rainbow 4420 ist ideal für High-End-Ätz- und Aschebedürfnisse und kann mit bis zu 12 Prozessrezepten geladen werden, wodurch komplexe Prozessabläufe problemlos erstellt werden können. Für maximale Betriebsgenauigkeit und Wiederholbarkeit ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 mit zwei unabhängigen Plasmaquellen ausgestattet, die zum Ätzen und Aschen verwendet werden können. Die hochpräzise End-of-Process-Überwachung verhindert übermäßiges Ätzen und Aschen, und die hochpräzise Verschlussklappe erleichtert die Reproduzierbarkeit auf +/- 0,2 Mikrometer. Mit seinen fortschrittlichen technischen Spezifikationen bietet Rainbow 4420 der Industrie eine leistungsstarke, genaue Lösung für Ätz- und Ascheanwendungen in einer Vielzahl von Branchen.
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