Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300193 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterprozesstechnologie verwendet wird. Es eignet sich für die Vorder- und Rückseite der Waferbearbeitung und kann in vielen Anwendungen wie Ätzen und Aschen in Polysilizium- und Metallätz- und Planarisierungsprozessen eingesetzt werden. Der 4420 ist für hohe Gleichmäßigkeit, Gleichmäßigkeit und Durchsatz über lange Verarbeitungszeiten ausgelegt. Das 4420 ist ein berührungsloses Werkzeug, das auf Plasma basierende Ätz- und Aschetechnologie verwendet, um die Oberfläche von Zielsubstraten chemisch zu ätzen. Das Doppelkammerdesign des Werkzeugs beseitigt die Kreuzkontamination von Substraten. Die 4420 ist in der Lage, Heißgrab- und Glühprozesse und kann Substrate bis 125 mm Durchmesser verarbeiten. Der 4420 verfügt außerdem über einen patentierten schnellen Plasmabehälter t/d-Schalter, mit dem Benutzer schnell vom Plasmaätzen zum Trockenätzen wechseln können. Der 4420 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Prozesstechnologien ausgestattet, um konsistente, wiederholbare Ergebnisse zu ermöglichen. Es bietet fortschrittliches Tuning für mittel- bis hochleistungsfähige Ätzprozesse sowie digitales Tuning für langsamere, niedrige Energieätzungen. Darüber hinaus verfügt die 4420 über eine voll integrierte 16-Zonen-Matrix, die es Anwendern ermöglicht, Prozesse an ihre spezifischen Anwendungsbedürfnisse anzupassen. Die 4420 wird durch LAM RESEARCH umfangreiche Forschung und Entwicklung unterstützt, weshalb ihr Gesamtdesign sehr zuverlässig und stabil ist. Es ist in der Lage, auch in rauen Umgebungen konstant über lange Zeiträume zu laufen, was es zu einer Top-Wahl für Produktionsprozesse mit hohem Volumen macht. Das Werkzeug verfügt über eine Vielzahl von Schutzmechanismen, um empfindliche Substrate vor Beschädigungen zu schützen. Darüber hinaus ist es mit zahlreichen Überwachungs- und Prozessleitsystemen kompatibel und bietet erweiterte Rückverfolgbarkeit und Feedback. Zusammenfassend ist Rainbow 4420 ein fortschrittlicher, zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl fortschrittlicher Prozessanwendungen geeignet ist. Die Mehrzonenmatrix- und Prozessabstimmungsfunktionen ermöglichen konsistente und wiederholbare Ergebnisse, während die Konstruktionsmerkmale für hohe Gleichmäßigkeit und Durchsatz sorgen. Mit seinen vielfältigen Schutzfunktionen ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 die offensichtliche Wahl für jede Halbleiteranwendung.
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