Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300199 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, auch bekannt als Plasmaätzer, entwickelt, um dünne Filme abzuscheiden, Spielmuster zu ätzen und Plasmabeschichtungen zu erstellen, die die Verarbeitung von Geräten unterstützen. Es kann dünne Filme aus Dielektrikum und Polysilizium in einer Vielzahl von Höhen, Breiten und Tiefen abscheiden. Rainbow 4420 Ätzer bietet die Möglichkeit, eine breite Palette von Materialien zu ätzen oder zu aschen, einschließlich Polysilizium, Siliziumoxid und Siliziumnitrid. Der Ätzer bietet zudem eine hervorragende Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit im Materialätz- oder Ascheprozess. LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer verwendet einen simultanen S/D-Prozess, um das Substratmaterial gleichmäßig abzuscheiden und zu reinigen. Dieses Verfahren nutzt eine kombinierte HF-Vorspannung, Substratvorspannung und Gaseinspritzung, um eine gleichmäßigere Ätzstruktur zu ätzen und das Substrat sehr wiederholbar und gleichmäßig zu reinigen. Das kombinierte Verfahren unterstützt zudem qualitativ hochwertiges Ätzen zu möglichst geringen Kosten. Rainbow 4420 Ätzer verfügt über eine modulare, flexible Architektur, die hohe Verfügbarkeit und Konsistenz über Materialien, Substrate und Ätzprofile bietet. Der Ätzer verfügt über einen linearmotorisch angetriebenen Drehtisch, der eine schnelle Substratumschaltung ermöglicht und Flexibilität für unterschiedliche Grenzen und/oder Bedingungen bietet. LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer verfügt auch über ein Vision-basiertes Ausrichtungssystem, um die manuelle Ausrichtung zu reduzieren, was wiederum das Risiko menschlicher Fehler reduziert. Rainbow 4420 Ätzer verfügt über mehrere Gaskanäle und direkte Gaseinspritzung, um einen optimalen Gasfluss zu gewährleisten, wodurch die Selektivität verbessert und ein optimiertes Ätzprofil erzeugt wird. Es verwendet auch ein turbogepumptes, computergesteuertes Vakuumsystem mit Lastverschlusstechnologie, um eine saubere und konsistente Plasmabearbeitung bei minimaler Pumpenausfallzeit zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer kommt auch mit einem benutzerfreundlichen Steuerungssystem, das auf Rezepte zugreifen und detaillierte Prozessinformationen über seine grafische Benutzeroberfläche zur Verfügung stellen kann. Die Software verfügt über eine leistungsstarke Batch-Verarbeitungsfähigkeit und kann zum Laden, Entladen und Überwachen mehrerer Rezepte verwendet werden. Die Software unterstützt auch die Rückverfolgbarkeit von Prozessdaten und archivierten Rezepten für den zukünftigen Einsatz. Insgesamt bietet Rainbow 4420 Ätzer der Industrie ein kostengünstiges Ätz- und Plasmabearbeitungswerkzeug, das auf Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit in verschiedenen Ätzprofilen ausgelegt ist. Das einzigartige Design des Ätzers liefert wiederholbare und einheitliche Prozessergebnisse, sodass Halbleiterhersteller zuverlässigere und konstant reproduzierbare Ergebnisse erzielen können.
Es liegen noch keine Bewertungen vor