Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9364647 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine Ätz- oder Aschermaschine, die für eine effiziente Waferätzung entwickelt wurde. Dieses System verfügt über eine rechteckig geformte Prozesskammer, die 2,5 Fuß (761 mm) lang und 4,2 Fuß (1290 mm) breit ist. Die Prozesskammer ist mit einer Konvektionsbodenreinigungsstufe, einem Gaskrümmer zur Abgabe und Einleitung verschiedener Gase in den Prozess und einer nachgeschalteten Plasmaätzquelle ausgestattet. Regenbogen 4420 wird von einem 400-MHz-HF-Generator angetrieben, der sowohl mit kapazitiv gekoppelten als auch mit induktiv gekoppelten Prozessmodi kompatibel ist. Dies macht das Gerät vielseitig genug, um eine Vielzahl von Prozessanforderungen zu bewältigen. Diese Maschine arbeitet sowohl mit Druck- als auch mit Vakuumumgebungen und ermöglicht eine Auswahl an Ätzchemien und -techniken. LAM RESEARCH Rainbow 4420 eignet sich für eine Vielzahl von Ätztechniken, wie anisotropes, isotropes und tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE). Es bietet auch halbautomatische Waferbelastung und Substratentfernung nach dem Ätzen, was eine höhere Prozesskontrolle ermöglicht. Rainbow 4420 ist für das Laden von bis zu 200 8-Zoll (200 mm) Wafern gleichzeitig konfiguriert, obwohl diese Zahl von der gewählten Ätzchemie abhängt. Das Tool bietet Ätzraten von 1-400 Angström pro Minute. Es ermöglicht auch bis zu 6 sequentielle Ätzschritte, die in benutzerdefinierten Rezeptbibliotheken gespeichert werden können. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein vielseitiger Ätzer oder Ascher, der eine Vielzahl von Ätzfähigkeiten und Prozesssteuerungsoptionen bietet. Der 400-MHz-HF-Generator ermöglicht eine breite Palette von Ätzchemien und -techniken sowie Ätzraten bis zu 400 Angström pro Minute. Es verfügt über eine große Prozesskammer, die bis zu 200 8-Zoll (200 mm) Wafer auf einmal aufnehmen kann und bis zu 6 aufeinanderfolgende Ätzschritte bietet. Mit benutzerdefinierten Rezeptbibliotheken zum Speichern von Ätzprozessen kann Rainbow 4420 zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse für alle Ätzanwendungen liefern.