Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9384291
Wafergröße: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine hochmoderne Ätz-/Ascheausrüstung zur Entwicklung und Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente. Mit seiner fortschrittlichen Technologie ist Rainbow 4420 in der Lage, außergewöhnlich hohe Leistung bei Ätz- und Ascheprozessen zu liefern. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet durch seine große Arbeitsfläche und seinen einstellbaren Abstand zwischen den oberen Elektroden der unteren Kammer eine hervorragende Flexibilität. Für zusätzliche Prozesssicherheit ist Rainbow 4420 mit einem automatischen Elektrodeneinstellsystem (AEM) ausgestattet, das eine schnelle und präzise Ausrichtung der unteren und oberen Elektroden ermöglicht und präzise und wiederholbare Prozesse ermöglicht. Das Gerät wird von einer automatisierten Computer Numerical Control (CNC) Maschine angetrieben, die es ermöglicht, mehrere verschiedene Ätz- und Ascheoperationen automatisch durchzuführen. Dieses CNC-Werkzeug zeichnet sich durch hohe Präzision und optimale Wiederholbarkeit für exakte Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit aus. Für zusätzliche Sicherheit wird LAM RESEARCH Rainbow 4420 mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die die Integrität der Substrate während des Ätz-/Ascheprozesses schützt. Dies reduziert das Potenzial der Kreuzkontamination und hilft, die Qualität der fertigen Produkte zu erhalten. Regenbogen 4420 ist auch in der Lage, mit hohen Geschwindigkeiten zu arbeiten und dennoch hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Das Asset kann eine Vielzahl von Prozessrezepten ausführen, einschließlich Ätzen und Aschen, um sicherzustellen, dass die komplexesten Anforderungen erfüllt werden. Insgesamt stellt LAM RESEARCH Rainbow 4420 ein hochentwickeltes Ätz- und Aschemodell dar, das die neueste verfügbare Technologie verwendet, um überlegene Ergebnisse zu liefern. Diese Ausrüstung ist für Qualitätssicherung und überlegene Prozesskontrolle konzipiert, die es zu einer ausgezeichneten Wahl für jedes Halbleiterentwicklungs- und Fertigungslabor macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor