Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 zu verkaufen

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ID: 9384291
Wafergröße: 6"
Plasma etcher, 6"-8" EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber Indexer type: Hinge 38A, 6"-8" Robot type: Harmonic drive Robot blade: AL, 6"-8" EMO Button guard rings CRT Monitor Chamber type: Standard Process: Plasma cleaner Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT AL Anodize Source type: Plasma system RF Power: OEM-12A Photodiode optical Endpoint AC2 Pressure control Temp control: Chiller Chuck Type: Mechanical clamp, 6" Match: Manual Gases: Model / SSCM / Gas UFC-1200 / 100 SCCM / O2 UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine hochmoderne Ätz-/Ascheausrüstung zur Entwicklung und Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente. Mit seiner fortschrittlichen Technologie ist Rainbow 4420 in der Lage, außergewöhnlich hohe Leistung bei Ätz- und Ascheprozessen zu liefern. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet durch seine große Arbeitsfläche und seinen einstellbaren Abstand zwischen den oberen Elektroden der unteren Kammer eine hervorragende Flexibilität. Für zusätzliche Prozesssicherheit ist Rainbow 4420 mit einem automatischen Elektrodeneinstellsystem (AEM) ausgestattet, das eine schnelle und präzise Ausrichtung der unteren und oberen Elektroden ermöglicht und präzise und wiederholbare Prozesse ermöglicht. Das Gerät wird von einer automatisierten Computer Numerical Control (CNC) Maschine angetrieben, die es ermöglicht, mehrere verschiedene Ätz- und Ascheoperationen automatisch durchzuführen. Dieses CNC-Werkzeug zeichnet sich durch hohe Präzision und optimale Wiederholbarkeit für exakte Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit aus. Für zusätzliche Sicherheit wird LAM RESEARCH Rainbow 4420 mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die die Integrität der Substrate während des Ätz-/Ascheprozesses schützt. Dies reduziert das Potenzial der Kreuzkontamination und hilft, die Qualität der fertigen Produkte zu erhalten. Regenbogen 4420 ist auch in der Lage, mit hohen Geschwindigkeiten zu arbeiten und dennoch hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Das Asset kann eine Vielzahl von Prozessrezepten ausführen, einschließlich Ätzen und Aschen, um sicherzustellen, dass die komplexesten Anforderungen erfüllt werden. Insgesamt stellt LAM RESEARCH Rainbow 4420 ein hochentwickeltes Ätz- und Aschemodell dar, das die neueste verfügbare Technologie verwendet, um überlegene Ergebnisse zu liefern. Diese Ausrüstung ist für Qualitätssicherung und überlegene Prozesskontrolle konzipiert, die es zu einer ausgezeichneten Wahl für jedes Halbleiterentwicklungs- und Fertigungslabor macht.
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