Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9406916 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Batch-Plasmaascher/Ätzer, der für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz in einer Vielzahl von F&E- und Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Dieser Ascher verfügt über eine ausgezeichnete Prozesssteuerung, fortschrittliche hochdichte Plasmatechnologie und umfassenden Umweltschutz. Rainbow 4420 bietet überlegene Dopingprofile, Schrittabdeckung und Wafer-Gleichmäßigkeit. Das Gerät ist auch speziell für die maskenlose und Einzelzählerbearbeitung konzipiert. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet optimale Ätzleistung in Polysilizium, Poly-SiGe, SiO2, Low-K-Folien und vielen anderen Materialien. Das System hat eine hervorragende Steuerung des reaktiven Ionenätzprozesses (RIE) und bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit über einen weiten Wafergrößenbereich. Rainbow 4420 bietet zudem eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Schrittabdeckung mit hoher Ätzrate und Selektivität. Das Gerät verfügt über eine konfigurierbare Gasfördermaschine, die mehrere Ätztechniken und -prozesse unterstützt. LAM RESEARCH Rainbow 4420 kommt auch mit einer Reihe von Sicherheits- und Umweltfunktionen wie fortschrittliche UPAV, WSUV und ATXV-Einheiten. Die UPAV-Einheit (User Protection & Analysis Visibility) überwacht Verarbeitungsparameter und sorgt für optimale Umgebungsbedingungen im Werkzeug. Die WSUV (Wafer Sensitivity Unit) misst die Gleichmäßigkeit des Wafers und stellt sicher, dass die Prozessergebnisse konsistent und wiederholbar sind. Die ATXV-Einheit steuert flüchtige Organik und reinigt Abgase, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Rainbow 4420 verfügt zudem über eine hochmoderne Benutzeroberfläche, die die Steuerung des Ätzprozesses einfacher und benutzerfreundlicher macht. Die Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, wichtige Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen und die Einstellungen nach Bedarf anzupassen. Die Schnittstelle verfügt auch über Warn- und Warnfunktionen, die Benutzer während des Prozesses auf Probleme oder Anomalien aufmerksam machen. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein idealer Ätzer/Ascher für F&E und Produktionsanwendungen, bei denen die Steuerung und Präzision von Ätzprozessen entscheidend ist. Es bietet überlegenen Durchsatz, Prozesskontrolle und Leistung sowie hervorragenden Sicherheits- und Umweltschutz. Die robuste Benutzeroberfläche und fortschrittliche Überwachungssysteme machen dieses Asset zu einer großartigen Ergänzung für jede Ätzeinrichtung.
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